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| 品牌 | IKC/入江工研 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 真空 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
IKC入江工研Gulliver单侧密封方形真空闸阀
IKC入江工研Gulliver单侧密封方形真空闸阀
单气缸集成波纹管驱动,一体化平移抬升机构,结构高度简化;
阀板仅单侧一圈密封圈(标准单面密封 S),无中间夹层,无法不停机维保;
全程阀板平移脱离密封面再抬升,启闭无摩擦,低发尘,继承 IKC 无尘zhuan利。
开阀:阀板水平平移脱离阀座→垂直上抬,流道全开;
关阀:阀板垂直下落贴合法兰→气压锁紧,依靠压差压紧单侧密封圈密封。
| 型号 | 方形通口 | 法兰外形尺寸 | 定位 |
|---|---|---|---|
| GL-5.125 | 5.125 英寸 | 130×130mm | 小型腔体、检测设备隔断 |
| GL-6 | 6 英寸 | 152×152mm | 6 英寸设备支线隔离 |
| GL-8 | 8 英寸 | 203×203mm | 8 英寸设备 Loadlock、支线阀 |
| GL-12 | 12 英寸 | 305×305mm | 12 英寸设备外围次要隔断 |
GL-HT:高温烘烤款,最高耐温 200℃,Kalrez 全氟醚密封圈;
GL-CORR:耐腐蚀款,阀体电解抛光,耐卤素等离子、酸碱腐蚀;
GL-M:手动格列佛,手轮机械启闭,实验室低频检修隔离。
极限静态漏率:阀体≤\(1×10^\ \text^3/\text\),阀板密封≤\(5×10^\ \text^3/\text\);
压差耐受:正向承压 101kPa 大气压,反向耐压偏弱,不适合长期反向高压差工况;
密封材质:标配 FKM 氟橡胶(-20~150℃),高温选配 Kalrez 全氟醚。
驱动方式:标配气动,气源压力0.45~0.55MPa 洁净无油压缩空气;
启闭速度:1.0~3.0s,快于常规 KOSⅡ 单面阀;
使用寿命:标准 600 万次,加强版最高 800 万次,低于科斯拉泽甲阀;
执行器耐受:气缸波纹管最高 60℃,阀体常温 120℃,HT 款阀体 200℃。
标准阀体:SUS304 不锈钢,Ra≤0.8μm;工况严苛选用 SUS316L 电解抛光;
结构特点:体积轻薄、自重轻、安装法兰与 KOSLAZE 法兰通用,可直接互换替换。
| 对比项 | Gulliver 格列佛(单侧密封) | KOSLAZE-Ⅱ S 单面甲阀 |
|---|---|---|
| 结构 | 单气缸一体化,极简结构 | 三气缸分体结构,动作更稳定 |
| 阀体厚度 | 薄、轻量化 | 更厚实、刚性更强 |
| 使用寿命 | 600~800 万次 | 600~1000 万次 |
| 反压密封 | 一般,不适合长期反向压差 | 抗反压稳定,双向密封性好 |
| 采购价格 | 低,经济型 | 偏高 |
| 维保 | 必须破腔体真空 | 同样破真空,但配件更耐用 |
| 适用定位 | 支线、外围隔断、预算有限场景 | 设备次要腔体、高频稳定工况 |
Loadlock 进出锁腔、腔体泄压隔离阀、设备外围支线隔断;
芯片检测设备、探针台、光学测试腔体小型隔断;
8/12 英寸设备非核心工艺腔隔离,不用于中央传输腔;
老旧设备国产化替换、低成本改造。