简要描述：IKC入江工研Marina圆形摆臂式真空闸阀
Marina 是 IKC 专门为真空排气管路、真空泵前端隔断打造的圆形摆锤式闸阀，与 KOSLAZE 方形甲阀、Gulliver 格列佛方形阀同属无尘低颗粒产品线，核心定位：腔体与真空泵之间的排气切断阀，仅单面密封，主打大口径、低压差、轻量化、低气源消耗，半导体排气系统标配阀件。

一、基础结构与启闭原理

1、结构形式

• 驱动：顶部单波纹管气缸，带动摆臂做90° 旋转摆动；

• 密封：圆形阀板单面软密封，依靠气压 + 压差压紧密封面；

• zhuan利：搭载 IKC压差抵消机构，大幅抵消大气压对阀板的压力，气缸驱动力更小、结构更轻巧。

2、完整启闭流程

1. 全开（排气导通）

   气缸上拉摆臂，圆形阀板向上翻折贴于腔体侧壁，圆形流道wan全敞开，气体顺畅流向真空泵；阀板全程不摩擦密封面，低发尘。

2. 全关（排气切断）

   气缸下压摆臂，阀板下落贴合法兰密封面，依靠压差锁紧，隔绝腔体与真空泵，防止泵油返流、大气倒灌进工艺腔。

3. 调节型衍生款

   可在任意开度定位，用于腔体压力微调、节流稳压，适配工艺腔压强精准控制场景。

3、核心结构特点

1. 无滑动摩擦启闭，洁净度满足半导体成熟制程；

2. 压差抵消结构，气缸负载低，耗气量比传统闸阀降低 50%；

3. 阀体紧凑，大气侧执行机构体积小，管路安装节省空间；

4. 模块化拆装，阀板、密封圈可快速单独拆卸更换，维保简单。

二、全系列型号、口径规格（法兰国标真空法兰 A 系列）

1、标准基础款 MR 常规排气阀

2、细分衍生型号

1. MR-C 紧凑型

   阀体厚度缩减 25%，侧向气缸布置，狭小管路密集空间安装；常用：C-80A、C-100A、C-150A。

2. MR-HT 高温烘烤款

   Kalrez 全氟醚密封圈，最高耐温 200℃，波纹管耐高温强化，适配高温退火腔体排气。

3. MR-CORR 耐腐蚀款

   阀体电解抛光 SUS316L，耐卤素、酸碱等离子腐蚀，多用于刻蚀机泵口。

4. MR-V 开度可调调节阀

   带定位气缸，0~90° 任意角度锁定，腔体压力节流稳压，ALD、精密镀膜压强控制专用。

5. MR-M 手动款

   手轮摆臂机械启闭，实验室备用隔断、低频检修隔离。

三、统一核心技术参数

1、真空密封性能

• 极限静态漏率：≤\(1×10^\ \text^3/\text\)；

• 耐压：正向承压 101kPa 标准大气压，不适合长期反向高压差；

• 密封材质：标准 FKM 氟橡胶（-20~150℃），高温 Kalrez（-20~200℃）。

2、驱动与寿命

• 驱动气源：0.4~0.6MPa 洁净无油干燥空气；

• 耗气量：相比同口径传统闸阀降低 50%；

• 启闭速度：全开全关 1.5~3.5s；调节阀调速范围 2~10s；

• 标准使用寿命：500~700 万次启闭。

3、材质与工况

• 阀体：标配 SUS304；严苛工况 SUS316L 电解抛光（Ra≤0.4μm）；

• 工作温度：常温 - 10~150℃，HT 款最高 200℃短时烘烤；

• 安装方式：水平管路、竖直管路均可安装，优先阀板朝上安装。

四、Marina 圆形阀 VS Gulliver 格列佛方形阀 VS KOSLAZE 甲阀 核心区别

五、精准应用场景

1、半导体行业（核心用途）

1. 刻蚀、PVD、CVD、ALD 设备真空泵前端排气隔断，停机隔绝大气，防止泵油倒灌污染晶圆腔体；

2. Loadlock 锁腔粗抽管路、分子泵、干泵、涡轮泵入口切断；

3. 12 英寸量产设备总管排气、多腔体集群集中排气管路；

4. MR-V 调节阀用于薄膜沉积腔体压强精准稳压控制。

2、显示面板 FPD

3、通用真空领域

1. 光学镀膜、镜片镀膜、锂电池真空烧结排气切断；

2. 科研超高真空设备、电子束设备泵口隔离；

3. 真空检漏、真空测试设备管路开关。

4、设备配套优势