简要描述：IKC入江工研 CF法兰型超高真空系列波纹管
柔性管是一种直径相对较小的波纹管，用于可以自由弯曲的设备中的管道。
它可以自由弯曲（灵活），便于连接管道。
管长可以轻松调节。
我们的柔性管材是为真空管道连接而设计的。

命名释义

VF：标准单层波纹柔性管；VFP：加厚强化型柔性管（壁厚增加、抗疲劳、耐反复弯折）

1000=KF/NW 快拆法兰、2000=CF 超高真空刀口法兰、3000=JIS 日系法兰、4000 = 光管焊接定制款

1、密封漏率（He 氦检）

• KF/JIS 常规款：≤\(\boldsymbol\ Pa·m^3/s}\)

• CF 超高真空款：≤\(\boldsymbol\ Pa·m^3/s}\)

2、温度耐受

• 长期稳定使用：-20℃ ~ 150℃

• 短时高温烘烤：最高250℃

• 深冷定制：-196℃液氮工况可选

3、材质

• 标准主体：SUS304 不锈钢；严苛腐蚀工况升级 SUS316L 电解抛光

• VFP 加厚款：管壁加厚，抗弯折、抗疲劳，寿命提升 50%

4、力学特性

1. 仅允许静态弯曲、小幅度位移补偿，禁止高频往复伸缩（不可替代阀门焊接波纹管）

2. 最小弯曲半径：≥软管外径 5 倍，过度弯折易开裂漏气

3. 工作工况：内侧真空、外侧常压，不用于正压管路输送

5、长度规格

柔性管 / 模制波纹管 / 焊接波纹管 三者核心区分

应用场景

1、半导体行业（核心场景）

1. 干泵、涡轮分子泵、离子泵与腔体之间柔性连接，隔绝泵震动传导，保护晶圆腔体精度；

2. Marina 圆形排气阀、方形闸阀后端排气管道柔性转接；

3. Loadlock 锁腔粗抽管路、8/12 寸量产设备集群长排气管路补偿；

4. 设备改造：硬管改软管，解决机架安装错位、热胀冷缩应力。

2、显示面板 FPD

3、科研与精密装备

4、通用工业真空