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| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 能源,建材/家具,电子/电池,半导体,机械设备 |
|---|
MOTOYAMA本山制作所EV4C系列金属隔膜阀
定位：UCV ECO 经济型高纯金属隔膜阀（HP 中高纯等级，次于 2LD/UHP 系列；对标富士金 FPR-U、MIYUKI 美幸辉 MV 系列中端机型）
产品归属：MOTOYAMA Ultra Clean Valve（UCV）超净阀产品线
结构：一体式锻造阀体 + 哈氏合金 C276 金属隔膜，无弹簧接触介质，极低释气、低微粒
阀体：SUS316L 锻造不锈钢
隔膜：Hastelloy C276（Co-Cr-Ni 钼合金）
阀座：PCTFE（标准）/ PI（聚酰亚胺，高温可选）
润湿面粗糙度：标准 Ry ≤2.5 μm；-EP 电抛光选项 Ry ≤0.8 μm
最高工作压力：1.0 MPaG（145 psi）
耐压试验压力：1.5 MPaG
爆破压力：≥31 MPaG
适用范围：真空～1.0 MPa
PCTFE 阀座：-10 ℃ ～ +60 ℃
PI 聚酰亚胺阀座：-10 ℃ ～ +150 ℃
阀座内漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
阀体外漏：≤3×10⁻¹² Pa・m³/s
驱动气源压力：0.4～0.6 MPa（4～6 bar）
气口螺纹：Rc1/8
类型：常闭 NC（标准）、常开 NO（定制）
可选附件：位置开关（微动 / 接近传感器）
同系列延伸型号：EV6C — 3/8"；EV8C — 1/2"（下文只聚焦 EV4C）
| 型号 | 接口形式 | 典型使用场景 |
|---|---|---|
| 2EV4C-FV | 1/4" VCR F/F 旋转母头 | 特种气体、高纯氮气、Ar、H₂、蚀刻气体；机台气柜、GV 箱 |
| 2EV4C-BV | VCR 外螺纹 | 管路转接、短距离阀对阀直连 |
| 2EV4C-I | 双卡套 Let-Lok | CDA 压缩空气、普通氮气、吹扫气，洁净要求中等回路 |
| 2BEV4C-FV | 一体式三通阀块 | 真空管路吹扫、隔离 + 旁路一体化，减少接头死体积 |
| 2ES4CV-LC 手动款 | VCR / 双卡套 | 设备前端总截止阀、维修隔离阀，不频繁动作点位 |
刻蚀机 Etcher：工艺气体支管隔离阀、吹扫阀
PVD/CVD/ALD：气源柜、GV Box 气动切断阀
真空管路：隔离、氮气吹扫回路
量测设备、离子注入机气源控制
还原炉配套高纯氢气、硅烷管路切断
镀膜设备气源控制阀
湿制程配套高纯氮气、干燥空气回路
蒸镀设备气体管路
电解液研发装置、特种气体供气系统
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