简要描述：鹭宫Saginomiya 半导体制造卡门涡旋流量计
卡尔曼涡旋液体流量计结构简单、精度高、耐久性强，无活动部件。
低压降设计可在广泛的流量范围内实现稳定测量。
可在强磁场中使用。

一、鹭宫Saginomiya 半导体制造卡门涡旋流量计 工作原理

和 SLK 原理一致：管路内置漩涡发生体，流体流过发生体两侧交替产生卡门漩涡；漩涡剥离频率和液体流速成正比；传感器采集频率信号换算瞬时流量。

✅QLK 做了特殊抗磁传感器结构，不受外部强磁场干扰，在磁铁、线圈、射频磁场附近测量不会漂移失准。

主流型号流量 & 压力规格

表格

型号	接口	流量范围 (L/min)	最大工作压力 MPa	允许运动粘度 mm²/s
QLK‑05	3/8" PFA 扩口	0.4‑3.5	1.0	≤1.0
QLK‑08	1/2" PFA 扩口	1‑10	1.0	≤1.2
QLK‑10	1/2" PFA 扩口	2.5‑20	1.0	≤1.5
QLK‑15	3/4" PFA 扩口	4‑40	0.6	≤2.5
QLK‑20	1" PFA 扩口	10‑90	0.5	≤4.0

型号后缀说明：T=PFA 扩口接头；X = 无 O 型圈全 PFA 接液。

四、鹭宫Saginomiya 半导体制造卡门涡旋流量计产品特点

1. 全 PFA 接液，高洁净，适配半导体高纯化学回路，无金属污染风险；

2. 无叶轮转子，无磨损，故障率低，低压损；

3. 抗磁场能力为最大卖点，设备周边存在电磁铁、磁控溅射线圈、强射频场，优先选 QLK，SLK 在此环境容易读数漂移；

4. 电池供电版本无需布线，现场就地读取瞬时 + 累积流量；

5. 可提供 DC24V 脉冲输出型号接入 PLC 采集。

五、运用场景

1. 半导体设备（强磁场工位）：磁控溅射配套超纯水 / 药液回路、带电磁铁模组的清洗设备、PVD 周边工艺流体监控；

2. LCD/OLED 面板设备，腔体周边有线圈、磁铁的药液输送管路；

3. 不便于敷设控制线缆，需要就地观察流量的高纯流体管路；

4. 光伏、锂电，磁场设备附近的高纯工艺水监测。

⚠️不适用：气体、高粘度介质、侵蚀 PFA 的强腐蚀药液；基础电池版不能做 PLC 联锁报警，需要远传要选带脉冲输出版本。

通用规格

电源电压：DC3V（2节AA电池、无输出）
最大使用压力：主体15A...0.6MPa、20A...0.5MPa
使用环境温度：0～50℃
精度：±2%FS
使用流体：纯水、化学溶液等各种流体（应不侵蚀主体材质）
流量范围：0.4～90L/min