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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
|---|
现货｜FLUORO 福乐 FV‑10‑240 / FV‑30‑240 / FV‑60‑240 真空吸笔专用真空泵
深圳仓现货直发｜FV 系列为无油隔膜式真空泵，240 代表 AC220‑240V 电压版本，专为 C002/C003/F002 真空吸笔配套，半导体无尘室干式使用，无油设计，无油气污染。
型号释义
FV：FLUORO 无油隔膜真空泵系列
数字 10/30/60：代表机型规格，流量、负压能力逐级提升
‑240：供电规格 AC220‑240V 50/60Hz（国内市电直接使用）
核心技术参数
表格
项目
FV‑10‑240
FV‑30‑240
FV‑60‑240
产品名称 | 无油隔膜真空泵 | 无油隔膜真空泵 | 无油隔膜真空泵 |
型号 | FV‑10‑240 | FV‑30‑240 | FV‑60‑240 |
电源 | AC220‑240V 50/60Hz | AC220‑240V 50/60Hz | AC220‑240V 50/60Hz |
最大负压 | ‑80kPa | ‑84kPa | ‑88kPa |
最大流量 (L/min) | 10L/min | 30L/min | 60L/min |
功耗 | 约 25W | 约 45W | 约 70W |
泵体结构 | 无油隔膜式，无需加油 | 无油隔膜式，无需加油 | 无油隔膜式，无需加油 |
接口规格 | 适配 Φ3×5 / Φ4×6 软管（851‑M/851‑L /852） | 适配 Φ3×5 / Φ4×6 软管（851‑M/851‑L /852） | 适配 Φ4×6 大流量软管优先 (851‑L /852) |
噪音等级 | 低噪音 | 低噪音 | 中低噪音 |
适配吸笔 | C002/C003/F002，适合小芯片、4‑6 寸晶圆 | C002/C003/F002，4‑8 寸晶圆主流选型 | C002/C003/F002，8‑12 寸大重量 / 翘曲晶圆 |
适用环境 | Class10‑1000 无尘室，干式，不可抽药液水汽 | Class10‑1000 无尘室，干式，不可抽药液水汽 | Class10‑1000 无尘室，干式，不可抽药液水汽 |
选配配件 | 658 泵底座、659 成套支架组件、851/852 软管、652 吸笔座 | 658 泵底座、659 成套支架组件、851/852 软管、652 吸笔座 | 658 泵底座、659 成套支架组件、851‑L/852 大流量软管、652 吸笔座 |
工作原理
隔膜无油结构，电机驱动隔膜往复运动产生负压，输出稳定真空给到真空管路、真空吸笔；
配合 C002/C003/F002 吸笔 + 对应吸嘴，完成芯片、晶圆的吸附拾取；
无油设计，不会产生油雾污染无尘车间；
可搭配 658 底座固定台面，搭配 652 吸笔座放置吸笔；整套可选用 659 成套支架组件。
产品核心优势
无油隔膜设计：不需要加注真空泵油，无油雾挥发，满足半导体无尘环境，维护简单。
负压稳定，多档位机型：从小流量芯片拾取到大流量 12 寸整片晶圆全覆盖。
220‑240V 国内直用版本，无需变压器，上电即可工作。
低振动低噪音，桌面工位友好；可安装 658 底座减少振动滑移。
接口直接匹配原厂 851、852 系列防静电软管，整套 ESD 导通。
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