简要描述：EBARA 荏原 EV-A10-2S五级罗茨干式真空泵
日本 EBARA 荏原 EV‑A10‑2S，单相 200‑240V 风冷无油干式真空泵，深圳仓库原装现货，无需漫长海外订货周期，当天可安排出货，适配半导体、实验室、锂电、中小腔体洁净真空工艺。

EBARA 荏原 EV-A10-2S五级罗茨干式真空泵玉崎现货说明

EV-A10-2S 是日本 EBARA 荏原 EV-A 系列单相供电风冷五级罗茨干式真空泵，玉崎半导体深圳仓常备原装现货，日本原厂整机进口，出厂资料、检测报告齐全可溯源，原厂品质保障。EV-A10-2S 为半导体 Load-Lock 腔体预抽、小型工艺腔、分子泵前级真空主力机型，整机、进气过滤器等消耗备件均可配套供货。无需漫长海外订货周期，快速响应半导体设备整机厂、晶圆厂新机配套与产线维保需求。玉崎可提供选型评估、工况匹配、现场安装调试、故障排查、备件更换一站式真空技术服务。

EBARA 荏原 EV-A10-2S五级罗茨干式真空泵产品特征

1. 五级非接触罗茨无油结构，泵腔内部无润滑油，che底杜绝返油污染，满足半导体洁净真空需求；转子无接触运转，磨损极低，长期运行稳定性强。

2. 风冷免水冷设计，无需外接冷却水管道，消除漏水风险，仅接入电源即可投入使用，洁净车间、实验室部署便捷；整机噪音≤58dB (A)，低振动，适合车间安静作业环境。

3. 性能参数优异：最大抽速 1000L/min，气镇关闭极限真空 1.0Pa；开启内置气镇阀可处理水汽，水蒸气处理量最高 500g/h，适配含水、含溶剂工艺排气；50/60Hz 频率下抽速性能保持一致。

4. 单相 AC200~240V 供电，内置变频驱动，极限真空运行功率仅 1.1kW，节能降耗；进气接口为 NW40（KF40）标准法兰，整机尺寸 317×544×344mm，重量 75kg；标配可锁脚轮 + 调平底座，方便移位与固定安装。

5. 完备信号输出与安全保护，具备远程启停 I/O、报警信号输出，可对接设备 PLC 控制系统；搭载过热、过载保护，故障自动报警；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 行业安全规范，适配半导体行业标准。

6. 维护简单，常规消耗件仅进气过滤器，转子几乎无磨损，长周期免大修，大幅降低产线维护成本与停机时间。

工作原理

EV-A10-2S 采用多级罗茨干式真空原理，由五级串联非接触罗茨转子组成。电机驱动同步齿轮带动成对罗茨转子反向高速旋转，转子之间、转子与泵腔壁面保持微小间隙，无物理接触，不需要泵腔润滑油。转子旋转将腔体气体从进气侧逐级输送压缩，从排气口排出，持续降低腔体内压力，形成真空环境。内置气镇阀可导入少量干燥气体，降低水蒸气在泵腔内部冷凝析出，实现含水蒸气工艺气体稳定抽取。在半导体场景，主要用作 Load-Lock 预抽泵、分子泵前级泵，用于晶圆传送腔快速抽真空，隔离大气与高真空工艺腔，避免水汽、微粒污染工艺腔体，广泛应用刻蚀、沉积、离子注入等设备的真空子系统。

玉崎配套价值

半导体 Load-Lock 腔体对真空洁净度、抽气效率、设备稳定性要求高，油气污染、漏水、泵体故障都会直接造成晶圆污染、产线停机。EV-A10-2S 风冷无油干泵，是小型半导体工艺腔体预抽的优选真空设备。玉崎半导体作为荏原华南一级代理商，实现 EV-A10-2S 整机与消耗备件现货一体化供应，缩短交付周期；同时提供真空系统选型、管路配套、安装指导、故障诊断等真空技术支持。可配套半导体设备整机厂、晶圆制造工厂，用于 Load-Lock 腔体、小型工艺腔、检测设备真空单元，为半导体洁净真空工艺提供稳定可靠的干式真空解决方案。