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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
双行程两段气动执行器，两路独立驱动气源
关闭状态：弹簧复位，Ni-Co 金属隔膜压紧 PCTFE 阀座，流道切断。
第一段（小流量 / 预开）：通入低压驱动气 1，活塞短行程抬起隔膜，小开度、小 Cv，管路缓慢升压、预吹扫置换，避免气流冲击扬起管壁颗粒。
第二段（全流量 / 全开）：通入低压驱动气 2，活塞走wan全部行程，隔膜wan全抬起，达到额定 Cv，大流量输送工艺气体。
关闭：两路驱动气泄压，弹簧复位，阀门关断。
核心价值：单阀实现「预吹扫 + 工艺供气」两段流量，替代 2 支普通单行程隔膜阀，减少阀组死体积、减少阀件数量
双流两段式，工厂预设小流量区间（最大约 30% 额定 Cv），出厂锁死，不可现场随意调，防止误改动
低压等级：最高工作压力 1.0MPa，半导体 UHP 特气标准低压阀
全金属隔膜结构，执行器与工艺介质wan全隔离，无填料，零外漏 SUS316L VAR 真空重熔阀体，EP 电解抛光，低析出、低发尘，无尘室装配、超纯水清洗、真空包装
氦检严格：阀座泄漏、外泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
紧凑阀体，节省 Gas Box/IGS 阀组空间，降低内部死容积，缩短管路置换时间
长寿命：百万次循环验证，三星、SK 海力士长期量产验证
材质激光yong久打码，材质证书全程可追溯规格参数表
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 产品系列 | PSDVN 低压双流气动隔膜阀 |
| 驱动类型 | 气动两段式，两路独立驱动气源 |
| 标准动作 | NC 常闭；NO 常开可定制 |
| 公称口径 | 1/4"、3/8"、1/2" |
| 最大工艺压力 | 1.0 MPa（10bar） |
| 流体温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 驱动气源压力 | 0.4~0.6 MPa |
| 接液材质 | 阀体：SUS316L VAR；隔膜：Ni-Co Elgiloy 合金；阀座：PCTFE（PI 高温可选） |
| 内表面粗糙度 | EP 标准：Ry ≤0.3μm；BA：Ry≤3.0μm；UP 可选 Ry≤0.1μm |
| Cv 参考值 | 1/4":0.32；3/8":0.55；1/2":0.85 |
| 小流量段 | 出厂设定，约 8%~30% 额定 Cv，出厂锁定 |
| 泄漏指标 | 阀座 / 外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He 检漏） |
| 洁净处理 | 脱脂禁油、DIW 清洗、Class100 无尘室组装、真空包装 |
| 连接方式 | VCR 公 / 母头、BW 自动焊 |
半导体 IGS 集成气体柜、Gas Box 气体箱（主力场景）：SiH₄、NH₃、Cl₂、WF₆等自燃 / 有毒 / 腐蚀性特种气体，预吹扫置换腔体，缓慢升压，防止颗粒扰动。
晶圆厂二次配管 Gas Panel、刻蚀、薄膜沉积、离子注入机台特气管路。
SiC/GaN 第三代半导体、OLED/LCD 面板、光伏电池超高纯气体管路。
半导体腔体慢充气回路，替代传统旁路吹扫阀组，简化阀组设计。
实验室超高纯特种气体分配、气体稀释配比模块。
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