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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
关闭式手柄操作
内部容积小
最小粒子生成
水分、氧气和碳氢化合物的贡献极小
手柄颜色可根据要求提供
可锁定在关闭位置，确保安全
金属隔膜直压式手动开关阀
顺时针旋转手轮，丝杆向下推动 Ni-Co 镍钴合金金属隔膜压紧 PCTFE 阀座，流道关闭；
逆时针旋转手轮，丝杆抬升，金属隔膜回弹脱离阀座，管路导通；
金属隔膜隔离上部手轮丝杆机构与工艺气体，无填料密封，不存在填料外漏风险；
功能定位：只有全开 / 全关，不做流量调节，用于管路检修隔离、气源切断。
低压等级，最高 1.0MPa，专为 UHP 超高纯半导体特气设计
低内部死容积，管路置换速度快，减少气体残留
Ni-Co Elgiloy 镍钴合金隔膜，低发尘、抗疲劳，适配腐蚀性、自燃性特种气体
阀体 SUS316L VAR 真空重熔不锈钢锻件，EP 电解抛光，低析出、低颗粒
氦检全检：阀座内漏、外泄漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
可选关位安全锁，检修时锁死阀门，防止误开，满足半导体安全规范
Class100 无尘室装配、DIW 超纯水清洗、脱脂禁油、真空双袋包装
阀体激光yong久打码，材质可追溯到钢厂原厂材质证书
紧凑阀体，适合 Gas Box、VMB 阀箱密集阀组排布
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 产品系列 | DVN 低压手动隔膜阀 |
| 驱动方式 | 手动手轮螺旋驱动（二位开关，禁止节流调节） |
| 公称口径 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" |
| 最大工作压力 | 1.0 MPa（表压） |
| 流体温度 | PCTFE 阀座：-10℃ ~ +80℃；PI/PFA 阀座：-10℃ ~ +150℃ |
| 接液材质 | 阀体：SUS316L VAR；隔膜：Ni-Co Elgiloy；阀座：PCTFE（标准） |
| 内表面粗糙度 | EP：Ry ≤0.3μm；BA：Ry≤3.0μm |
| Cv 参考值 | 1/4":0.3；3/8":0.7；1/2":0.7；3/4":1.2 |
| 泄漏指标 | 阀座内漏、外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He 氦检） |
| 洁净处理 | 脱脂禁油、DIW 清洗、Class100 无尘室装配、真空包装 |
| 连接方式 | VCR 公 / 母头、BW 自动焊、SW 卡套 |
| 附加选项 | 关位安全锁、哈氏合金 C22 阀体、不同颜色手轮 |
半导体 IGS 集成气体柜、VMB 阀箱、Gas Box：气源入口、支路两端手动隔离阀、检修阀，维护时切断气源，隔离上下游管路
晶圆厂二次配管、特气支管进出口关断；刻蚀、薄膜沉积、离子注入机台特气支路
SiC/GaN 第三代半导体、OLED/LCD 面板、光伏超高纯气体管路
气瓶柜气瓶出口手动切断阀，有毒、自燃、腐蚀性电子特气（SiH₄、NH₃、Cl₂、WF₆等）安全隔离
实验室超高纯特种气体分配系统
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