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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
金属隔膜计量阀
CV 值范围从 0.25 起
适用于最高温度150°C的阀门
性热编码激光标记；材料可追溯至原始工厂测试证书
金属隔膜式精密手动流量调节阀（计量阀）
旋转带精密刻度手轮，丝杆带动 Ni-Co 金属隔膜做微小行程位移，连续改变阀座流道间隙，实现连续无级微调流量；
金属隔膜隔离手轮丝杆机构与工艺气体，无填料密封，杜绝介质外漏；
阀座 PCTFE 软密封，顺时针旋到底可关闭，兼具精密流量调节 + 关断双重功能；
和 DVN 手动阻断阀最大区别：DVN 只有全开全关；MDVN 计量阀可以在 0~ 最大 Cv 之间连续微调微小流量。
低压等级：最高 1.0MPa，UHP 超高纯半导体特气专用，微小流量精密调节
带精密刻度手轮，刻度直观，可重复设定微小流量，方便复现设定值
Ni-Co Elgiloy 镍钴合金金属隔膜，低发尘、低析出，耐腐蚀性、耐疲劳性优异
阀体 SUS316L VAR 真空重熔不锈钢锻件，EP 电解抛光，Ry≤0.3μm，水分、氧、碳氢析出极低
低内部死容积，管路置换快，减少气体残留
氦检全检：阀座内漏、外泄漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
Class100 无尘室装配、DIW 超纯水清洗、脱脂禁油、真空双袋包装
阀体激光打码，材质证书可追溯；可定制哈氏合金 C22 阀体用于强腐蚀介质
结构紧凑，适合 Gas Box、VMB 阀箱狭小空间集成
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 产品系列 | MDVN 低压金属隔膜计量阀 |
| 驱动方式 | 手动精密刻度手轮，连续无级流量调节，可全关断 |
| 公称口径 | 1/4"、3/8"、1/2" |
| 最大工作压力 | 1.0 MPa（表压） |
| 流体温度 | PCTFE 阀座：-10℃ ~ +80℃；PI 阀座：-10℃ ~ +150℃ |
| 接液材质 | 阀体：SUS316L VAR；隔膜：Ni-Co Elgiloy；阀座：PCTFE（标准） |
| 内表面粗糙度 | EP：Ry ≤0.3μm；BA：Ry≤3.0μm |
| Cv 范围 | 0.005~0.25（微小流量区间，可精细微调） |
| 泄漏指标 | 阀座内漏、外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He 氦检） |
| 洁净处理 | 脱脂禁油、DIW 清洗、Class100 无尘室装配、真空包装 |
| 连接方式 | VCR 公 / 母头、BW 自动焊、SW 卡套 |
| 附加选项 | 哈氏合金 C22 阀体、高精度刻度手轮 |
半导体 IGS 气体柜、VMB 阀箱：特种工艺气体微量配比、小流量稳定供给，稀释回路、旁路微调
刻蚀、薄膜沉积、离子注入设备机台，工艺气体微量进料控制
SiC/GaN 第三代半导体、OLED 面板、光伏超高纯气体微量调节回路
实验室高纯气体配比、气体标定、MFC 旁路校准、微量吹扫控制
自燃、有毒、腐蚀性电子特气（SiH₄、NH₃、Cl₂等）小流量精准控制
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