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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀体材质 | SUS316L VAR（标配），可选哈氏合金 C22 |
| 波纹管组件 | 一体焊接 SUS316L 金属波纹管（流体与执行器隔离） |
| 阀座 | PCTFE（标准）；可选 PI / PTFE |
| 口径 | 1/2"、3/4"、1" |
| Cv 值（高流量） | 1/2"：1.7；3/4"：2.3；1"：3.8（和 ABV 手动版一致） |
| 介质最大工作压力 | 1.0 MPa(G) |
| 驱动气源压力 | 0.4 ~ 0.6 MPa(G) |
| 工作温度 | PCTFE 阀座：-10℃ ~ 80℃ |
| 氦检漏率（标准型） | 内漏、外漏 ≤1×10⁻⁶ Pa・m³/s |
| 动作型式 | 常闭 NC（标准，通气打开，断气弹簧复位关闭）；可选常开 NO |
| 连接方式 | VM VCR 金属面密封、TW 对焊 BW |
| 内表面处理 | EP 电抛光，Ra≤0.025μm；洁净室装配、DIW 无油清洗 |
| 结构流道 | Y 型全通径，低流阻，死体积小 |
| 执行器材质 | 阳极氧化铝外壳；带可视开闭指示 |
金属波纹管隔离式气动结构
驱动气通入气动执行器，气压推动活塞向下；
活塞下压阀杆，带动波纹管压缩，阀瓣压紧 PCTFE 阀座，流道关闭；
驱动气源泄压，内置弹簧推动活塞复位；金属波纹管回弹抬起阀瓣，管路打开；
核心：金属波纹管把工艺流体和上部执行器隔离，无填料密封，驱动空气、执行器油脂不会污染高纯介质；波纹管只做伸缩运动，不是隔膜挤压结构。
和 TKF 气动金属隔膜阀对比：
隔膜阀：Cv 偏小，适合特种腐蚀性气体，高频机台支管；
YPBV 气动波纹管阀：大 Cv 高流量，适合大宗气体主管，循环寿命弱于金属隔膜阀，不适合一天数千次高频开关。
Y 型全通径大流量，Cv 远大于普通气动阀，管路压损小，适合大流量大宗气体输送；
金属波纹管无填料密封结构，杜绝阀杆外泄漏，高纯低析出；
EP 抛光流道，低颗粒产生，出厂洁净清洗、氦检；
气动弹簧复位，可远程电控电磁阀控制开关，替代手动阀实现自动化；
执行器带开关状态目视指示，方便现场确认阀位；
材质完整可追溯，激光打标，半导体 Fab 大宗管路通用；
真空保压性能优异，可用于真空管路。
选型提醒：标准 YPBV 为低频启闭设计；如果需要高频循环工况，需升级高耐久波纹管版本。
半导体大宗气体 Bulk Gas 主管 / 分支自动切断：N₂、Ar、O₂等惰性 / 氧化性大宗气体；
气体柜 IGS、阀组箱主路气动隔离阀、吹扫旁路自动阀；
FPD 面板、光伏产线高纯气体总管自动开关；
超纯水 UPW 主管路、高纯真空管路自动切断；
实验室、锂电产线高纯惰性气体自动化管路。
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