简要描述：樫山 Kashiyama NeoDry60E 罗茨干式真空泵
近期推出新品现货！！樫山 Kashiyama NeoDry60E 风冷多级罗茨干式真空泵

日本樫山 NeoDry60E 为风冷多级罗茨干式真空泵，主打长维护周期、高水汽处理能力、低振动低噪音，无需冷却水，插电即可投产，是半导体、实验室、镀膜产线替换油式旋片泵的热门机型。

樫山 Kashiyama NeoDry60E 罗茨干式真空泵产品核心特点

纯风冷无冷却水设计，不依赖厂房供水，现场部署简单，移动工位、无尘机柜内均可安装；整机 56kg，结构紧凑。

多级罗茨非接触转子结构，泵腔无油润滑，杜绝油蒸汽返流污染腔体，满足洁净工艺要求；转子无摩擦，不易产生粉尘颗粒。

标配气镇结构，最大水蒸气处理量可达 600g/h，可稳定抽取含水汽、少量溶剂蒸汽的工艺气体。

极限真空≤1.0Pa，最大抽速 1000L/min；洁净空气 / 氮气工况下标准维护周期长达 3 年，大幅降低产线停机维保成本。

低振动、低噪音，适配洁净室环境；50/60Hz 宽频适配，电源兼容性强。

樫山 Kashiyama NeoDry60E 罗茨干式真空泵适用工况半导体 Load-lock 腔体前级抽气、手套箱、真空冷冻再生、真空脱气、溶剂干燥、溅射镀膜、科研实验腔体、氦检前级泵；适合需要频繁破空、含水汽、对腔体洁净度有要求的中真空制程。

介质限制：仅适配空气、氮气等惰性洁净气体；腐蚀性气体、大量粉尘工况需选用特殊涂层版本。

📦 原装现货，支持现场测试、技术选型，可配套真空系统方案，欢迎询价。