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| 品牌 | Takano/高野 | 流动方向 | 单向 |
|---|---|---|---|
| 3C阀门类别 | 工业 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
系列定位:气体专用精密比例阀,常闭 NC,无滑动摩擦结构,低粒子,适合半导体、医疗、分析仪器微小流量连续调节
PSV‑03T 共 3 个标准型号,按最大流量区分:
PSV‑03T‑002:小孔 0.7mm,小流量
PSV‑03T‑005:中孔 1.5mm,中流量
PSV‑03T‑030:大孔 3.6mm,大流量
阀体形式:螺纹接口 Rc1/8;另有歧管安装型可选,底座集成流路,无螺纹接口
| 项目 | PSV‑03T‑002 | PSV‑03T‑005 | PSV‑03T‑030 |
|---|---|---|---|
| 阀形式 | 常闭 NC 直动式 | 常闭 NC 直动式 | 常闭 NC 直动式 |
| 孔口 Orifice | φ0.7mm | φ1.5mm | φ3.6mm |
| 空气控制流量 | 0.04‑2 L/min | 0.1‑5 L/min | 0.6‑30 L/min |
| 最大空气流量 | 2.4 L/min | 6 L/min | 36 L/min |
| Cv 值(空气) | 0.007 | 0.018 | 0.076 |
| 额定电压 | DC24V | DC24V | DC24V |
| 控制电流 | 0‑160mA | 0‑160mA | 0‑160mA |
| 线圈电阻 | 约 152Ω | 约 152Ω | 约 152Ω |
| 耐压 | 1.0MPa | 1.0MPa | 1.0MPa |
| 工作压差 | 0.05‑0.5MPaG | 0.05‑0.5MPaG | 0.1‑0.3MPaG |
| 内部泄漏 | ≤1cc/min | ≤1cc/min | ≤1cc/min |
| 连接口径 | Rc1/8(内螺纹) | Rc1/8 | Rc1/8 |
| 流体接触材质 | SUS316、PTFE、FKM、电磁不锈钢 K‑M31 | SUS316、PTFE、FKM、电磁不锈钢 K‑M31 | SUS316、PTFE、FKM、电磁不锈钢 K‑M31 |
| 适用流体 | 空气、N₂、O₂、H₂、He、CO₂、CH₄等非腐蚀性气体 | 同左 | 同左 |
| 环境温度 | 5‑50℃ | 5‑50℃ | 5‑50℃ |
| 耐热等级 | A 类(105℃) | A 类(105℃) | A 类(105℃) |
| 阀体宽度 | 18mm | 18mm | 18mm |
| 安装方向 | 任意方向 | 任意方向 | 任意方向 |
配套控制器:推荐 TAKANO 专用 PBCS000 控制板,PWM 8kHz 驱动,0‑5V 模拟输入对应 0‑160mA 输出。不可普通开关电磁阀驱动,必须电流闭环 PWM 控制。
双板弹簧无滑动导向结构,没有滑动摩擦副,降低粉尘粒子产生
零电流状态:弹簧压紧 PTFE 阀座,阀门关闭(常闭)。
DC24V 线圈通入 0‑160mA 连续可调电流,电磁吸力拉动动铁芯,克服板弹簧弹力,阀芯抬升,阀口打开。
电流大小决定阀芯升程:电流越大,阀芯抬起越高,流通截面积越大,气体流量成比例增大;电流减小,弹簧复位,流量下降。
依靠电磁力与双板弹簧力动态平衡,实现电流‑开度‑流量连续比例调节。
核心优势:动铁芯由两片板弹簧悬浮支撑,无滑动摩擦,反复动作几乎不产生磨损颗粒,适合洁净气体工况。
注意:不是脉冲阀,工作时线圈需要持续通电维持开度,断电自动全关。
超紧凑,阀体宽度仅 18mm,设备狭小空间布置。
无滑动摩擦结构,低粒子,适配半导体洁净气路。
SUS316+PTFE/FKM,耐多数惰性气体、弱腐蚀气体。
高分辨率比例特性,微小流量也可精细调节。
个体差异经过出厂校准,批次一致性好。
半导体后段设备:氮气吹扫、微量气体配比、小型工艺气路调节
分析仪器:质量流量控制器 MFC 先导控制阀、气相色谱、环境监测设备载气控制。
医疗设备:制氧机氧气 / 混合气体流量调节
燃料电池测试、气体燃烧器、实验室气体配比装置。
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