简要描述：日本进口V-TEX狭缝传输阀
日本 VTEX（株式会社ブイテックス）半导体全系列产品 VTEX 主营超高真空洁净阀门 + 防爆爆破片，是 TEL、应用材料 AMAT、日立高新、ASM、爱发科等半导体设备原厂配套阀件供应商，产品适配 8/12 寸晶圆蚀刻、PVD/CVD、离子注入、ALD、封装全制程。

Slit Valve 晶圆狭缝传输阀（ROLLCAM 系列，半导体 EFEM/Loadlock 核心）

1. 标准 ROLLCAM（单凸轮，200/300mm 晶圆标配，TEL 蚀刻 / PVD 原厂标配）

常用型号（阀体编号 + 开口尺寸）

日本进口V-TEX狭缝传输阀核心参数

• 氦检漏率：阀体≤4.0×10⁻¹¹Pa・m³/s、阀板≤1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/s

• 开闭时间：1.0~3.0s；气源气压：0.45~0.55MPa；标准寿命：100 万次启闭

• 材质：阀体 A5052 铝镁合金、密封 FKM 氟橡胶（耐 HF/Cl₂蚀刻腐蚀气体）、波纹管 AM350 不锈钢

• 耐温：阀体≤90℃、气缸驱动部≤60℃，高温定制款阀体*高 150℃

应用场景

• 大气侧 Door Valve：EFEM 设备 ↔ Loadlock 预抽腔（晶圆从大气进真空**道隔断）

• 真空侧 ROLLCAM 狭缝阀：Loadlock ↔ 传输腔、传输腔 ↔ 干法蚀刻 / PVD/CVD/ALD 工艺腔

• 适配设备：TEL 刻蚀机、AMAT PVD 溅射机、日立 ALD 设备、ASM 外延机（8 寸 / 12 寸晶圆量产线）

2.Twin-ROLLCAM 双凸轮（V121576 (496×53) 为通用型号）

参数

场景

3.Multi-ROLLCAM 多凸轮（定制非标开口 350~550mm）

参数

场景

衍生：True L-Motion（电动狭缝阀）、T-Motion（大屏基板阀）

• True L-Motion：336×50 规格，寿命300 万次，电动闭环控制，开闭 1.2s；场景：ALD、超高真空氧化炉

• T-Motion：G6~G10.5 面板产线，开口*高 250mm，开闭 4s；场景：OLED 蒸镀、面板 PVD（半导体优良封装）