简要描述：代理品牌EBARA荏原EV-X100N无油干式真空泵
这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计，从而实现了进一步的小型化和节能。
宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺，因此优化了备用设备库存，减少了维护和培训工作量，并可灵活适应未来的工艺扩展。
适用应用实例：各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入。

代理品牌EBARA荏原EV-X100N无油干式真空泵
EV-X 是荏原面向半导体中负荷～偏严苛工艺开发的无油干式真空泵，模块化水冷机型，主打小型化、节能、宽温控，适配晶圆厂 Subfab 空间紧张场景。

核心规格参数

补充：还有小型号 EV-X30N；整机水冷结构；标配耐腐蚀 NiResist 铸铁，可升级更强耐腐蚀选项；符合 SEMI S2、CE、NRTL 工厂安全规范；内置总线通讯，支持 Fab 远程监控、告警记录存储

工作原理

EV-X 属于多级罗茨干式真空泵（无油）

1. 泵腔内部成对转子互相啮合、无接触、无油润滑，转子间隙极小，不发生金属摩擦；

2. 转子旋转，持续将工艺气体从进气口捕获，逐级压缩，最后从排气口排出；

3. 内置宽范围温控系统，主动控制泵体温度，防止工艺副产物（粉末、沉积物）凝结粘附在泵腔内；

4. 无油结构，不存在油返流污染腔体；无刷直流电机 + 转子转速智能调节，根据气体负载动态调速节能EBARA Tech...。

代理品牌EBARA荏原EV-X100N无油干式真空泵产品特点

1. 无油干式结构：无油返渗，不污染晶圆工艺腔，洁净度高

2. 小型化：占地面积相比同级别竞品缩小最高 38%，非常适合 Subfab 密集布置设备EBARA

3. 节能优势：对比同等级干泵节能最高 38%；无刷 DC 电机 + 负载自适应调速，待机 / 轻载大幅降功耗

4. 工艺适应性强：主动温控技术，抑制粉末凝结；标准耐蚀 NiResist 材质，可处理含腐蚀性气体；单台泵可兼容多种工艺，减少备品型号、降低备件库存压力EBARA CORP...

5. 模块化设计：维护拆装简便；自带本地操作面板 + 急停按钮；内置完整监测、报警、数据记录，可接入工厂上位机

6. 低振动低噪音，水冷散热，热稳定性好；50Hz/60Hz 下性能一致，*工厂通用

应用场景（半导体为主）

半导体晶圆制造（主力）

• 刻蚀 Etch、PECVD、HDP-CVD 等各类 CVD 沉积工艺

• 灰化 Ashing、溅射 PVD、离子注入 Ion Implant、外延 Epitaxy

• SEM / 量测设备真空主机

其他行业

• 光伏、部分显示面板真空工艺

• 其他需要无油真空、腐蚀性 / 含粉尘工艺的中负荷真空制程