简要描述：进口EBARA荏原EV-S20P洁净工艺多级罗茨干泵
其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性，有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，使其适用于从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺等各种应用。

进口EBARA荏原EV-S20P洁净工艺多级罗茨干泵
EV-S 是荏原轻负荷洁净工艺多级罗茨干泵，主打ji致节能、超小占地，定位洁净 / 轻微腐蚀、少粉末副产物场景

工作原理

多级罗茨无油干式真空泵（主泵 + 增压泵串联）

1. 泵腔内一对同步转子无接触啮合，腔体内无工艺侧润滑油；齿轮与轴承独立隔离腔，仅齿轮箱使用 PFPE 全氟聚醚润滑，不会向工艺腔返油污染晶圆。

2. 转子旋转逐级捕获气体，多级连续压缩后从排气端排出。

3. 标配怠速 / 休眠节能模式：根据腔体压力动态调速，负载低时自动降转速，洁净工况甚至可以不用持续 N₂吹扫，节省氮气成本。

对比 EV-X：EV-S无宽范围主动温控，不适合大量粉末、容易凝附副产物的工艺。

进口EBARA荏原EV-S20P洁净工艺多级罗茨干泵 产品特点

1. 同级最di功耗，内置自适应调速 + 怠速休眠，轻载大幅省电，TCO 成本优势明显；洁净工况无需氮气吹扫，节约 N₂消耗.

2. 体积小、重量轻，占地面积极小，非常适合 Subfab 狭小空间密集摆放

3. 多版本可选：标准洁净型 / P 氮气吹扫型 / N 镍合金耐蚀型，覆盖洁净→轻度腐蚀气体

4. 无油干泵结构，无油返流，保证真空腔体洁净

5. 自带 LCD 本地面板、传感器监测、告警 + 历史数据存储，支持设备通讯联动

6. 50/60Hz 频率不影响抽气性能，*产线通用；低振动低噪音EBARA CORP...

局限：不适合大量粉末、易凝结副产物、强腐蚀重负荷工艺（这类选 EV-X/EV-M）

应用场景（轻负荷洁净工艺为主）

半导体晶圆制造（主力）

• Load Lock 腔（传送锁腔，EV-S 经典应用）

• SEM、TEM、量测机台真空

• 低副产物洁净 PVD、洁净 CVD、轻度灰化

• 离子注入轻负荷腔体

其他行业

• LCD / 面板阵列制程

• LED、光伏电池真空

• 实验室真空、研发设备洁净真空

参数规格：