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产品分类
| 品牌 | NFK/南国工业 | 供货周期 | 一周 |
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两端均设有管端结构,可连接压缩接头。
适用管材:CLT(超柔性)管。
直径:3.18 至 12.7 毫米。
长度:100 毫米至 3 米
(*具体长度请咨询我们)。
适用流体:气体、水、空气
(*仅限不会腐蚀不锈钢的流体)。
工作温度:-196 至 300°C。
工作压力:FV 至 0.1 MPa(
*允许泄漏率≤1.33 × 10⁻¹⁰ Pa m³/s)。
结构:无编织网套,CLT 超柔波纹,放气率低、发尘少,满足洁净真空要求;波纹管标配 SUS316L(可选 SUS304,半导体优先 EP 电解抛光 316L),全氩弧熔焊、无夹层缝隙
泄漏等级:氦检漏≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,高真空标准
压力范围:全真空 FV ~ 0.3MPa(短时承压)
温度区间:-196℃ ~ +300℃,可适配液氮深冷到高温烘烤真空工况
位移吸收:可吸收轴向伸缩、径向偏移、角向偏转;⚠️ 严禁承受扭转载荷,安装禁止拧转波纹管
连接形式:两端直管端头(Pipe-End),可直接焊接、搭配卡套接头,不用 KF/VG 法兰,体积小巧紧凑
规格:内径 φ3.18 / 6.35 / 9.52 /12.7mm;长度 100mm~3000mm 按需定制
仅限不腐蚀不锈钢材质介质
干燥 N₂、Ar 等惰性工艺气体、CDA 洁净干燥空气
洁净纯水
✘ 禁止:HF、卤素、强腐蚀酸性气体、会腐蚀 316L 的化学品(腐蚀介质要选 NFK 内衬 PTFE 的其他软管型号,不是 NK-2300PT)
半导体设备:腔体内部狭小真空支管、真空规 / 压力传感器、微调阀连接、晶圆运动平台随动真空拾取气路、预真空辅助细管路;PVD/CVD/ 刻蚀机内部微型真空回路
真空泵配套:分子泵、小型干泵、涡旋泵进出口减震、补偿安装误差
分析仪器 & 实验室:SEM 扫描电镜、质谱仪、检漏仪、小型真空测试平台、真空烧结炉、蒸镀 / 溅射小型光学镀膜设备
精密真空工装:小型真空治具、真空吸附模组、科研真空测试系统