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| 品牌 | NFK/南国工业 | 供货周期 | 一周 |
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结构:CLT 一体成型超柔波纹管,无编织网,低放气、低发尘;材质 SUS304 / SUS316L 可选,半导体优选 EP 电解抛光 316L;两端一体式 KF 法兰,氩弧熔焊成型
泄漏指标:出厂氦检,漏率≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,满足高真空制程要求南国フレキ...
压力:FV 全真空 ~ 0.1MPa(常规工作),短时承压最高 0.3MPa,不适合长期正压工况
温度:-15℃ ~ +150℃(标配 Viton 氟胶 O 圈密封);如需更高烘烤温度要换金属密封结构,该型号标准款不适合高温烘烤超高真空
位移吸收:可补偿轴向伸缩、径向错位、角向偏转;⚠️ 严禁承受扭转、安装禁止拧转波纹管
连接方式:标准 ISO-KF 法兰,搭配 KF 卡箍 + 定心环 + O 圈,徒手快速拆装,检修、更换管路非常方便
标准口径:KF10 / KF16 / KF25 / KF40 / KF50;长度 100~3000mm 可定制NFK VIETNA...
优势对比 PT:不需要焊接、不需要卡套接头,标准化通用真空接口,设备改管路、备件替换效率高
仅限不腐蚀不锈钢材质介质:
干燥 N₂、Ar 等惰性工艺气体、CDA 洁净干燥压缩空气
洁净纯水(少量湿法支路)❌ 禁止:HF、卤素气体、强酸性腐蚀介质;腐蚀介质选用 NFK 氟树脂软管系列,不选 NK-2300KF
半导体设备:分子泵 / 干泵前级管路、PVD/CVD/ 刻蚀设备真空支路、真空规、压力变送器、预抽管路;需要经常拆装维护的真空回路
真空镀膜:溅射机、蒸镀机、等离子清洗机腔体和泵组之间减振连接
真空泵配套:分子泵、涡旋干泵、旋片泵进出口减振,隔绝泵体振动传导到精密腔体、光学组件
实验室 / 分析仪器:SEM、质谱仪、检漏仪、真空烧结炉、小型真空测试台、科研真空腔体
通用真空工装:真空吸附平台、真空治具、真空检测设备,适合经常改布局、拆管路的场景