简要描述：OKANO冈野 AMC-203N微型线圈真空计
OKANO 冈野制作所（日本）；原理：热传导式皮拉尼，微线圈灯丝结构，主打抗振、自带冲洗清洗、宽量程，是半导体产线机台面板标配款，和前面 NMT-2000 T 型便携款形成互补

OKANO冈野 AMC-203N微型线圈真空计关于产品

显示单元尺寸更小，节省空间！您可以选择集成式或分离式传感器设计。

• 展示单元尺寸紧凑。（72宽 x 42高 x 50深 毫米）

• 显示单元和传感器可拆卸，通过传感器线缆连接后，它们将成为独立的单元，从而可以放置于桌面或面板上安装。*面板安装需要专用面板。

可以连接电池组。

• 这样便于携带，方便进行维护或其他测量用途。

• 电池容量为 3.7V/5,400mAh (20Wh)，可连续工作约 20 小时。

传感器丝的微型化使其具有优异的抗振动和抗冲击性能。

• 传统的热传导真空计使用极细的金属丝作为传感器，而微线圈真空计使用微型（线圈状）传感器。

• 这样可以防止灯丝因振动和冲击而断裂。

其冲洗功能具有优异的环境耐受性。

• 冲洗功能旨在通过将传感器灯丝加热至高温（约 400°C）来清除灯丝上的油污和其他沉积物并进行清洁。该功能在污染常见的真空环境中尤为有效。已注册实用新型专li（注册号：3175319）。

OKANO冈野 AMC-203N微型线圈真空计核心参数 & 工况条件

• 测量原理：热传导（皮拉尼），微型线圈灯丝（区别传统单根细钨丝）

• 测量量程：5.0×10⁻² ～ 1.0×10⁵ Pa；显示范围：4.0×10⁻² ～ 1.2×10⁵ Pa

• 精度（氮气基准）

• 0.05～0.5 Pa：±30%

• 0.5～10000 Pa：±20%）

• 10000～100000 Pa：±30%

• 测量周期：100ms；移动平均滤波：1~9s 可调，抑制泵体振动带来读数跳动

• 显示：红色 7 段 LED 数码管（指数 + 尾数），小型显示头 72 (W)×42 (H)×50 (D) mm，省面板空间

• 输出

• 模拟输出：0~5V（记录仪）

• 开关输出：Hi / Go / Lo 三点无电压接点，直接做真空联锁、报警

• 选配通讯：RS232C / RS485，上位机采集

• 冲洗（Flushing）功能：灯丝加热至约 400℃高温灼烧，去除油膜、有机附着物，自清洁

• 材质：接气部 SUS304；传感器线圈镍材

• 适用气体：干燥中性气体（N₂、Ar、空气）；不可测强腐蚀气体、大量可凝蒸汽

• 使用环境：0～50℃，无结露

产品核心特点（和普通皮拉尼、NMT T 型对比重点）

1. 微线圈灯丝，抗振抗冲击是最大卖点传统皮拉尼是极细直灯丝，真空泵振动、冲击极易断丝；AMC 线圈结构不易断，适合干泵、罗茨泵附近直接安装

2. 自带 Flushing 高温自清洗粗抽管路、Loadlock 容易沾油、碳氢污染物，定期启动冲洗，恢复灵敏度、延长寿命，这是 AMC 的核心优势，APG/NMT 没有该功能

3. 一体 / 分体两用本体小巧可直接面板安装；接上传感器延长线，传感器放腔体 / 泵口、显示头放在操作面

4. 小型化，机台面板高密度布局友好显示表头体积远小于 NMT-2000，半导体设备标配真空监测表

5. 可外接电池包，兼顾固定在线监测 + 临时移动检漏两用

短板：依然是热传导原理，读数受气体种类影响；不适合高真空（＜0.05Pa）、强腐蚀工艺气；冲洗功能不能解决大量粉尘、颗粒污染（粉尘需要前置过滤器）

运用场景（半导体为主）

1. 半导体 Loadlock 预抽腔、粗抽管路、转移腔真空在线监测、真空联锁报警

2. 干式真空泵、罗茨泵机组排气侧、入口侧真空监控（振动大，AMC 非常适配）

3. PVD、镀膜机、真空热处理、真空钎焊粗真空段监控

4. 真空设备出厂测试、产线机台真空状态点检、漏点排查

5. 真空包装、脱泡、注液设备的真空控制开关（利用 Hi/Go/Lo 三点接点）