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| 品牌 | OKANO/冈野 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
测量原理:压阻半导体传感器(绝压,自带真空参考腔)
精度:±0.25%FS ±1digit,精度远高于皮拉尼
分辨率:0.01 kPa
更新周期:100ms
温度漂移:±0.03% FS / ℃
耐过载压力:310 kPa
受压膜片:SUS316L,耐腐蚀性优于 SUS304
供电:DC12~24V,功耗 2W
输出:
模拟:4~20mA(满量程可自定义设定)
接点:4 路比较器输出(可自定义 HI/GO/LO 等联锁,60V 2A)
通讯:表头 RS232C;传感器端 RS485
尺寸:表头 96×96×34mm;传感器 40×40×100mm
使用环境:0~50℃,无凝露
适配气体:SUS316L 可耐受的干燥工艺气体(N₂、Ar、空气、轻度腐蚀气体;强卤素、HF 等不行)
绝压测量,和气体种类无关APG/AMC/NMT 都是皮拉尼热传导,气体不同读数会飘;AVG-300 压阻式直接测压力,氮气、氩气切换不用修正,适合需要精准压力闭环控制、设备验收标定。
SUS316L 感压膜,抗腐蚀能力强,部分轻度腐蚀工艺管路可用 。
分体结构:传感器放腔体、表头装面板;传感器可单独更换,互换性好,不用整套换新 。
移动平均滤波可调:泵抽气压力剧烈波动时,加长滤波稳定读数 。4 点比较输出,比 APG/AMC 的 3 点接点多出一路报警 / 联锁,自动化控制更灵活 。
标准 96 面板开孔,替换方便
半导体 Loadlock、预抽腔粗抽段精准绝压监测、工艺联锁、设备出厂验收标定
真空镀膜、PVD、脱气腔体粗抽压力闭环控制(氩气 / 氮气切换,皮拉尼不准,用 AVG)
真空热处理、真空钎焊、真空注液设备,需要压力精准闭环的工位
真空泵性能测试、保压测试、漏率标定基准参考表
高校实验室、真空校准台作为标准监测表
轻度腐蚀性气体真空管路监测(316L 膜片优势)
| 型号名称 | AVG-300C11 |
| 测量范围 | 高量程:0.10 ~ 20.00 kPa(显示范围:0.00 ~ 24.00 kPa) 低量程:0.1 ~ 133.3 kPa(显示范围:0.00 ~ 145.00 kPa) |
| 显示分辨率 | 0.01千帕 |
| 显示周期 | 100毫秒 |
| 准确性 | ±0.25%FS±1dig |
| 温度漂移 | ±0.03%FS/℃ |
| 传感器类型 | 压阻式半导体传感器 |
| 待测气体 | 不锈钢能够承受的气体 |
| 压力接收元件材料 | SUS316L |
| 过载电阻 | 310千帕 |
| 模拟输出 | 可设置 4-20mA 满量程值 |
| 通信输出 | RS-232C |
| 比较器输出 | 四点输出,可调触点操作,60V 2A |
| 传感器输出 | RS-485 |
| 传感器电缆长度 | 2米网线。*另有5米、10米和20米网线可选。 |
| 压力端口 | NW16 SUS304 |
| 环境温度范围 | 0~50℃ |
| 电源 | DC12~24V 交流适配器:AC100~240V *交流适配器为可选配件。 |
| 功耗 | 2W |
| 尺寸和重量 | 显示单元:96(宽)x 96(高)x 34(深)毫米,250克 / 传感器:40(宽)x 40(高)x 100(深)毫米,230克 |
| 标准配置 | 移动平均时间(响应速度)设置功能:0 至 9 秒 / 模拟输出满量程设置功能 |
| 标准配件 | 显示单元、传感器(NW16)、传感器电缆(LAN 电缆)2 米、面板安装支架、桌面支架、2 个 D-sub 连接器(9 针、15 针) |