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OKANO冈野AVG-300C11-10压阻式绝压真空计

简要描述:OKANO冈野AVG-300C11-10压阻式绝压真空计
OKANO 冈野制作所原理:压阻式半导体绝压传感器(和前面 APG/AMC/NMT 热传导皮拉尼本质区分:读数不受气体种类影响,是真实绝对压力),96 面板分体式,半导体粗抽段精准绝压监测、标定用主力款。

基础信息

产品型号

日本进口

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-30

浏览次数

详细介绍
品牌OKANO/冈野价格区间面议
产地类别进口应用领域能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备

OKANO冈野AVG-300C11-10压阻式绝压真空计 核心参数 & 工况条件

  • 测量原理:压阻半导体传感器(绝压,自带真空参考腔)

  • 精度:±0.25%FS ±1digit,精度远高于皮拉尼

  • 分辨率:0.01 kPa

  • 更新周期:100ms

  • 温度漂移:±0.03% FS / ℃

  • 耐过载压力:310 kPa

  • 受压膜片:SUS316L,耐腐蚀性优于 SUS304

  • 供电:DC12~24V,功耗 2W

  • 输出:

    1. 模拟:4~20mA(满量程可自定义设定)

    2. 接点:4 路比较器输出(可自定义 HI/GO/LO 等联锁,60V 2A)

    3. 通讯:表头 RS232C;传感器端 RS485

  • 尺寸:表头 96×96×34mm;传感器 40×40×100mm

  • 使用环境:0~50℃,无凝露

  • 适配气体:SUS316L 可耐受的干燥工艺气体(N₂、Ar、空气、轻度腐蚀气体;强卤素、HF 等不行)

产品核心特点

绝压测量,和气体种类无关APG/AMC/NMT 都是皮拉尼热传导,气体不同读数会飘;AVG-300 压阻式直接测压力,氮气、氩气切换不用修正,适合需要精准压力闭环控制、设备验收标定。
SUS316L 感压膜,抗腐蚀能力强,部分轻度腐蚀工艺管路可用 。
分体结构:传感器放腔体、表头装面板;传感器可单独更换,互换性好,不用整套换新 。
移动平均滤波可调:泵抽气压力剧烈波动时,加长滤波稳定读数 。4 点比较输出,比 APG/AMC 的 3 点接点多出一路报警 / 联锁,自动化控制更灵活 。
标准 96 面板开孔,替换方便

运用场景

  1. 半导体 Loadlock、预抽腔粗抽段精准绝压监测、工艺联锁、设备出厂验收标定

  2. 真空镀膜、PVD、脱气腔体粗抽压力闭环控制(氩气 / 氮气切换,皮拉尼不准,用 AVG)

  3. 真空热处理、真空钎焊、真空注液设备,需要压力精准闭环的工位

  4. 真空泵性能测试、保压测试、漏率标定基准参考表

  5. 高校实验室、真空校准台作为标准监测表

  6. 轻度腐蚀性气体真空管路监测(316L 膜片优势)

OKANO冈野AVG-300C11-10压阻式绝压真空计产品规格

型号名称AVG-300C11
测量范围高量程:0.10 ~ 20.00 kPa(显示范围:0.00 ~ 24.00 kPa) 低量程:0.1 ~ 133.3 kPa(显示范围:0.00 ~ 145.00 kPa)
显示分辨率0.01千帕
显示周期100毫秒
准确性±0.25%FS±1dig
温度漂移±0.03%FS/℃
传感器类型压阻式半导体传感器
待测气体不锈钢能够承受的气体
压力接收元件材料SUS316L
过载电阻310千帕
模拟输出可设置 4-20mA 满量程值
通信输出RS-232C
比较器输出四点输出,可调触点操作,60V 2A
传感器输出RS-485
传感器电缆长度2米网线。*另有5米、10米和20米网线可选。
压力端口NW16 SUS304
环境温度范围0~50℃
电源DC12~24V 交流适配器:AC100~240V *交流适配器为可选配件。
功耗2W
尺寸和重量显示单元:96(宽)x 96(高)x 34(深)毫米,250克 / 传感器:40(宽)x 40(高)x 100(深)毫米,230克
标准配置移动平均时间(响应速度)设置功能:0 至 9 秒 / 模拟输出满量程设置功能
标准配件显示单元、传感器(NW16)、传感器电缆(LAN 电缆)2 米、面板安装支架、桌面支架、2 个 D-sub 连接器(9 针、15 针)


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