简要描述：MIYUKI美幸辉BAR‑J200真空压力控制蝶阀
伺服电机直驱式真空压力控制蝶阀（APC 自动压力控制执行阀，非普通开关蝶阀），配套 MGCS / MG-mini 压力控制器做 PID 闭环稳压，是半导体真空工艺主流流导调节阀。

MIYUKI美幸辉BAR‑J200真空压力控制蝶阀
无背隙直驱伺服结构：电机直连蝶板，取消减速齿轮，无传动间隙；微小开度下压力稳定性ji强，抑制真空腔压力振荡，适合精密 PID 稳压

低颗粒洁净设计：消除金属滑动摩擦副，低粒子释放，满足半导体洁净真空要求

低噪音运行：全程无级调节运转安静，镀膜、分析仪器等对振动敏感工艺友好

简单蝶板流导特性：流导曲线平滑，控制器容易整定，相比 GAR 门阀，成本更低、体积更小

密封性能优秀

1. 内部阀密封：≤ \(1\times10^\ \mathrm{Pa\cdot m^3/s}\)

2. 轴外部密封：≤ \(1\times10^\ \mathrm{Pa\cdot m^3/s}\)

材质标配：接气部 SUS304；阀密封、轴密封为氟橡胶 FKM O‑ring；可升级全氟醚橡胶

断电标准行为：断电即停，无自锁；可选停电保持版本

应用场景

1. 半导体真空工艺（主力）

• PVD / CVD / 电子束蒸发镀膜腔体稳压

• 刻蚀、脱气、退火腔体真空压力恒定控制

• 晶圆清洗、溅射设备排气端流导调节

2. 光学与真空镀膜：光学镜头、AR 膜、装饰镀膜、卷绕镀膜机

3. 锂电 & 新能源：前驱体烧结、真空浸渍、真空热处理炉压力控制

4. 科研 & 分析仪器：质谱、真空分析腔、分子束、检漏配套压力调节

5. 通用精密真空设备：真空钎焊、真空烧结、气体分压配比、慢抽稳压

MIYUKI美幸辉BAR‑J200真空压力控制蝶阀特征

• 01. 结构简单的蝶阀。

• 02. 支持 25A 至 250A 的多种直径。

• 03. 取消了金属滑动部件，从而减少了颗粒物的产生。

• 04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。

• 05. 在小开口处实现压力稳定性。

• 06. 由于电机直接驱动，因此没有反冲。
  

• 规格：

• 口径	25A 至 250A
  工作压力范围	10⁵ Pa 至10⁻⁵ Pa
  内部密封件（阀门）泄漏	1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低
  外部密封件（轴）泄漏量	1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低
  气体接触部件的材料	SUS304
  阀门密封	氟橡胶O型圈
  轴封	氟橡胶O型圈
  耐热温度	主机：150℃
  	电机：40℃
  停电期间阀门运行	停止（无保持力）