简要描述：进口MIYUKI美幸辉B‑N65两位式气动真空蝶阀
两位式气动切断蝶阀（只全开 / 全关，不能连续比例调压），和 BH（两段开度）、BAR（伺服连续调压）明确区分；是半导体真空管路常用的隔离切断阀，搭配 GAR / BAR 调压阀一起成套使用

进口MIYUKI美幸辉B‑N65两位式气动真空蝶阀特点
    1.两位式齿轮齿条气动驱动只有全开 / 全关，无连续开度调节；气缸自带气垫缓冲，开关冲击小、低振动，适合设备 PLC 联锁；标配微动开关，输出开、关到位信号。

    2.超薄阀体、大通导同口径里面流导优秀，面间短，节省真空柜空间；阀体具备防静电导通，适合等离子制程。

    3.洁净低颗粒洁净室组装，接气部 SUS304，可选电解抛光；摩擦副少、低放气，满足半导体、光学镀膜洁净要求。

   4.可靠密封、低漏率

• 阀板密封：≤ \(1\times10^\ \mathrm{Pa\cdot m^3/s}\)

• 轴外密封：≤ \(1\times10^\ \mathrm{Pa\cdot m^3/s}\)

5.安装无姿态限制水平、垂直、倾斜任意安装，对比 GAR 门阀自由度高很多。

6.选配丰富

• 单作用弹簧复位（断气自动关 / 自动开，安全联锁）

• Kalrez‑K，等离子、强腐蚀工艺

• 高洁净 EP、特殊涂层

• 气缸不能烘烤；烘烤只能做阀体，驱动部分隔离

进口MIYUKI美幸辉B‑N65两位式气动真空蝶阀 规格：

应用场景：

1. 半导体（主力）PVD、CVD、刻蚀、脱气腔体：主抽切断阀、粗抽阀、破空阀、隔离阀；常和 BAR / GAR 搭配：GAR/BAR 负责稳压，B 系列负责管路通断联锁保护。

2. 光学与卷绕镀膜大面积玻璃镀膜、AR、滤光片产线，抽气管路隔离、腔体破空。

3. 光伏 / 锂电真空干燥、化成、前驱体烧结、浸渍设备，批量真空管路通断。

4. 真空热处理、钎焊、烧结炉真空炉抽气切断，炉体隔离。

5. 科研仪器质谱、电子束、真空模拟舱，手动之外的自动化气动隔断。

6. 通用真空设备检漏系统、真空灌注、脱泡设备。