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2026-10-12 -
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EBARA荏原EV-S200N洁净工艺多级罗茨干泵 其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性,有助于降低运行成本。此外,还提供耐腐蚀材料选项,使其适用于从轻负载应用(例如负载锁和扫描电镜)到腐蚀性工艺等各种应用。
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EBARA荏原EV-S100P洁净工艺多级罗茨干泵 其独特的转子设计和空转功能实现了世界yi流的能源效率和紧凑性,有助于降低运行成本。此外,还提供耐腐蚀材料选项,使其适用于从轻负载应用(例如负载锁和扫描电镜)到腐蚀性工艺等各种应用。