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LR90 -
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2026-06-30 -
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ULVAC爱发科LR系列低温多级罗茨干式真空泵 LR 是半导体 / 显示标准洁净主力干泵，水冷多级罗茨、低温全域均热、屏蔽式氦密封电机，主打PVD 溅射、光学蒸镀、Loadlock 装载腔高频预抽；可独立直抽大气，洁净度、循环稳定性优于 GR 经济型，温控防腐弱于 HR/UR 腐蚀专用泵，是镀膜产线标配前级干泵
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ULVAC爱发科RS系列干泵专用排气消音器 RS不是真空泵主机，是全系干泵（CR/GR/LR/HR/UR/LS）配套排气降噪选配配件，不能单独抽真空，安装在干泵排气 NW40 法兰处，用于车间降噪处理
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CR300B厂商性质
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ULVAC爱发科CR风冷紧凑型罗茨干式真空泵 CR 是全风冷小型干泵，轻量化、无需冷却水、不用轴封氮气，主打小型设备、实验室、中小型镀膜、小型腔体预抽；独立直抽大气，体积远小于 GR/LR 水冷机型，安装无水路配套成本，经济型洁净干泵，无高温防腐能力。