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UR3601 -
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2026-06-30 -
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日本进口ULVAC爱发科 UR多级罗茨干式真空泵 UR 是HR 系列升级顶配款，爱发科半导体最严苛腐蚀 / 高沉积工艺旗舰干泵，定位超高温全域均热、顶级防腐、重粉尘高卤素工况，对标 HR 但温控、防腐、防沉积能力全面拉满，专用于 ALD、重沉积 CVD、大产能干法刻蚀、长晶炉等高粉尘强腐蚀产线
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