-
技术文章
半导体干式真空泵结构原理、选型与维护
干式真空泵结构与工作原理1.核心结构(螺杆式为主流)阴阳转子:一对精密啮合螺杆(材质:不锈钢/镀硬铬/特种涂层),微米级间隙、非接触运转。泵腔/壳体:整体铸造、水冷夹套,控制热变形与温度漂移。轴承/齿轮箱:高精度轴承+同步齿轮,保证转子间隙稳定;多为终身润滑,减少维护点。入口/出口:配粗滤/粉尘过滤器,防止制程颗粒进入泵腔。2.工作原理(容积式、无油压缩)关键优势:全程无油,杜绝碳氢污染,满足半导体超洁净要求。三、半导体制程选型(按工艺严苛度)1.清洁工艺(量测、光刻、Loa...
+
-
技术文章
半导体制造,耗材才是设备稳定运行的关键
半导体制造:耗材,才是设备稳定运行的核心命脉半导体设备价值高昂、结构精密,但决定机台稼动率、良率、故障率、停机时长的,从来不是主机本体,而是不起眼的各类耗材。Fab厂80%以上的非计划性停机、晶圆污染、参数漂移、腔体异常,根源都来自耗材老化、选型错误、纯度不达标、更换不及时。一、为什么耗材比设备本体更影响稳定性?耗材直接接触晶圆与工艺气体/药液O型圈、滤芯、PPS/PEEK零件、密封件、真空泵油、脱气膜、加热器、静电消除配件,直接暴露在等离子、强酸强碱、高温、真空环境,是工艺...
+
-
技术文章
晶盛机电:半导体硅片与第三代半导体衬底装备龙头
公司简介浙江晶盛机电股份有限公司(JSG,300316),2006年创立,总部浙江绍兴,2012年深交所上市,是国内xian进材料+先进装备双轮驱动的龙头高新技术企业,也是全球少数可提供8/12英寸大硅片全流程制造装备的厂商晶盛机电。公司核心业务覆盖半导体晶体生长设备、硅片加工设备、碳化硅/蓝宝石晶体装备,同时布局碳化硅衬底、石英坩埚、金刚线等半导体核心耗材。产品线横跨集成电路大硅片、第三代半导体SiC、光伏硅晶三大赛道。核心产品矩阵:半导体单晶炉:12英寸、8英寸半导体直拉...
+
-
技术文章
铜冠铜箔——AI 服务器、高速通信、半导体 PCB / 载板上游关键材料供应商
铜冠铜箔(安徽铜冠铜箔集团股份有限公司,301217.SZ)公司简介铜冠铜箔隶属于铜陵有色集团,国内头部高精度电子铜箔专业制造商,主营PCB电子电路铜箔、锂电池负极集流体铜箔两大核心产品,是AI服务器、高速通信、半导体PCB/载板上游关键材料供应商深圳证券交...。公司具备完整电解铜箔研发、生箔、表面处理、检测量产能力,主力产品包含HTE高温高延伸铜箔、RTF反转铜箔、HVLP极低轮廓铜箔(1~4代已量产,5代在研);HVLPgao端铜箔专门面向AI服务器、高速背板、800G...
+
-
技术文章
华峰测控:国产半导体 ATE 龙头
公司简介北京华峰测控技术股份有限公司(Accotest,688200),1993年成立,2020年登陆科创板,是国内最早深耕半导体自动测试设备(ATE)研发制造的高新技术企业,也是国内模拟与混合信号测试设备领域的龙头厂商上海证券交...。公司专注半导体自动化测试系统研发、生产与销售,核心产品用于模拟芯片、数模混合芯片、功率分立器件、功率模块以及SoC芯片的电性测试,覆盖芯片设计、晶圆测试、成品测试全环节,是国内少数成功实现模拟ATE大规模进口替代并进入全球封测供应链的本土设备...
+
-
技术文章
真空泵与真空阀的连接性
半导体真空系统中,真空泵与真空阀的连接性,不只是法兰接口机械匹配,更是流导、密封、洁净、控制联动、抗腐蚀一体化的系统匹配能力。阀安装在泵入口(前级阀/隔离阀),是泵与工艺腔体之间的关键界面;连接不良会直接造成漏率超标、抽速衰减、颗粒污染、泵油返流,影响晶圆良率与设备稼动。本文从接口匹配、流导性能、密封、洁净兼容、电气联动、安装与失效风险,阐述半导体工况下真空泵与真空阀的连接设计要点。一、连接定位:真空阀在泵入口的作用在半导体刻蚀、沉积、LoadLock、量测设备真空管路,真空...
+
-
技术文章
DD 马达:半导体设备 θ 旋转轴核心部件,适配洁净室工况
摘要半导体制造全流程对载台旋转定位的微振动、亚微米级对位精度、无尘无污染提出严苛要求。传统伺服电机搭配减速机的旋转机构,受齿轮背隙、润滑油挥发、磨损粉尘等问题制约,难以满足先进制程设备需求。DD直驱马达(DirectDriveMotor)取消齿轮、皮带、联轴器等中间传动环节,以永磁力矩电机直接驱动负载,凭借零背隙、角秒级定位、低发尘、低振动特性,成为半导体设备θ旋转轴的核心执行部件,广泛应用于晶圆前道加工、检测、后道封装等场景,适配Class1~Class100高等级洁净室。...
+
-
技术文章
芯原股份:半导体 IP 授权服务、芯片定制解决方案
公司简介芯原股份(688521.SH,英文VeriSilicon),国内头部半导体IP授权与一站式芯片定制上市公司,总部上海,在国内多地及海外设有研发中心,核心两大业务:半导体IP授权服务、芯片定制解决方案。公司拥有六大类处理器IP:GPU、NPU、VPU、DSP、ISP、显示处理IP,配套1700余款模拟/混合信号、射频、接口IP,工艺覆盖250nm成熟制程至4nm先进FinFET节点,可对接台积电、中芯国际、华虹、三星等全球晶圆厂流片资源上海证券报。服务领域覆盖汽车电子、...
+
-
技术文章
半导体湿电子化学品与含氟冷却液龙头:新宙邦
深圳新宙邦科技股份有限公司公司简介深圳新宙邦科技股份有限公司(300037),A股上市,总部深圳坪山,国内电子化学品龙tou企业,深耕精细化学品三十余年,业务板块包含电池电解液、电容化学品、有机氟化学品、半导体化学品四大板块。半导体板块主打湿电子化学品、含氟冷却液、功能蚀刻/清洗材料,是国内少数可批量供应IC前道制程高纯湿化学品的本土材料厂商深圳新宙邦...。新宙邦半导体化学品覆盖晶圆制造全湿法工序,产品供货国内多家12英寸、8英寸晶圆厂,客户包含润鹏半导体、比亚迪半导体等大...
+
-
技术文章
鹏新旭——深圳市重大产业投资集团旗下高新技术晶圆制造企业
公司简介深圳市鹏新旭技术有限公司(简称鹏新旭,品牌缩写PST),2022年3月注册成立,坐落于深圳坪山区,为深圳市重大产业投资集团旗下高新技术晶圆制造企业,注册资本50亿元,核心定位28nm/40nm成熟逻辑工艺晶圆代工(Foundry),建设12英寸晶圆产线FAB1,面向粤港澳大湾区芯片设计公司、系统厂商提供流片与量产代工服务深圳市鹏新...。公司核心团队拥有平均15年以上半导体晶圆制造、工艺开发经验,聚焦功率芯片、MCU、物联网、消费电子、工业控制类成熟制程芯片制造,补齐...
+
-
技术文章
半导体精密温控系统龙头:英维克
公司简介深圳市英维克科技股份有限公司(Envicool,002837),深圳本土A股上市企业,国内精密温控、液冷系统解决方案龙头,2005年成立,总部深圳龙华,国家ji高新技术企业。公司核心定位为环境与热源热管理系统供应商,面向算力、储能、半导体、新能源、轨道交通等行业提供风冷、液冷、精密恒温机组。在半导体赛道,英维克聚焦晶圆厂车间空调、半导体工艺设备温控、激光器恒温、功率器件可靠性测试台液冷、SiC/IGBT模块老化测试散热,为前道晶圆制造、后段封装、激光加工设备提供全场景...
+
-
技术文章
半导体后段封装设备与封测代工:先进微电子(AMK)技术解析
先进微电子公司简介先进微电子科技有限公司(简称AMK,先进微电子),基地位于深圳龙岗,是国内半导体后段封装设备制造+IC封装代工双业务模式企业,兼具设备自研制造与功率器件、分立器件封装量产能力,是华南功率半导体后段关键厂商。业务分为两大板块:半导体封装设备自研制造+IC封装代工服务。设备端主打引线键合机、固晶机、塑封配套设备、等离子清洗机等后段核心封装装备;代工端承接IGBT、MOSFET、SiC功率器件、传感器、光电器件封装业务,面向新能源汽车、光伏储能、工业电源等车规/工...
+