真空泵（高真空）的基础知识 涡旋型干泵
更新时间：2026-07-17
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什么是涡旋型干泵？
涡旋干泵属于小型高洁净无油容积式干泵，主打小流量、高洁净、低振动、高极限真空，常作为分子泵前级泵，和螺杆干泵形成互补（螺杆做大流量工业工况，涡旋做精密洁净小腔体）
核心结构
静涡盘（固定涡旋）+ 动涡盘（运动涡旋）
一对涡旋线型盘片，齿间保持 20～30μm 微小间隙，全程无接触、无摩擦；靠十字滑环约束动盘只公转、不自转，维持均匀密封间隙。
风冷散热系统
绝大多数涡旋泵为风冷，无需外接冷却水，安装灵活；排气温度 60～80℃，温升远低于螺杆泵。
密封与冲洗接口
轴封隔绝外部油污；可选氮气气镇，轻微水汽工况下抑制冷凝。
电机与减震底座
小型单相电机，内置减震，整机噪音低、振动极小，可内置在精密设备内部。
工作原理
动涡盘绕静涡盘中心做偏心行星运动，两者啮合形成连续月牙形密闭腔：
外缘吸气：腔体容积最大，吸入气体；
渐进压缩：腔体随运动向中心收缩，气体持续加压；
中心排气：压缩至高压后从涡盘中心排气口排出。
全程泵腔无润滑油，仅轴承部位微量油脂隔离，不会产生油雾返流
涡旋型干泵的外观如图所示。
涡旋型干泵的外观
涡旋型干泵是通涡旋定子和转子的运动来排气的干泵。
该图显示了涡旋型干泵的结构。
涡旋型干泵的结构
两个具有相同形状的涡旋略微偏离中心，彼此接触相对方向运动，被捕获在新月形空间中的气体被压向中心并从中心的孔中排出。通常，压缩过程设计为2次以上，低振动和低噪音。
极限压力可以达到1Pa。在应用方面，它被广泛应用于真空干燥设备，物理化学分析设备，真空吸附转移设备，真空热处理炉等领域。
