真空泵（高真空）的基础知识 膜片型干泵

什么是膜片型干泵？

半导体和电子行业的需求不断增长

隔膜真空泵是一种利用隔膜的往复运动进行排气的真空泵。

随着近来半导体制造业和电子设备工业的快速发展，对隔膜真空泵的需求也在增加。

使用了膜片型干泵的技术！

真空排气，真空浓缩，过滤，脱气脱气，真空吸盘，薄膜吸附，包装机械，光学机械，真空镊子，医疗机械，印刷机械等

膜片型干泵的特征

不适用油和液体的清洁真空

膜片型干泵是不使用油或液体的机械真空泵，非常适用于需要清洁环境且不受油蒸气污染的应用。

优点　　由于不使用油，可以清洁排气

缺点　　无法获得高真空

膜片型干泵的结构

清洁构造的气体输送

当偏心轴（转子）旋转时，动力通过连杆传递到隔膜。

当隔膜反复上下运动时，气体从进气口输送到排气口，实现清洁排气。另外，每个口都装有阀门,可以一直向同一方向输送空气。

FAQ　真空技术咨询（常见问题）

这里的问答摘自为纪念ULVAC KIKO 30周年而策划和编辑的「真空能做什么」 （由日刊工业新闻社出版）
※记载的顺序和表述方法已部分更改。

制造真空的Q&A

Q1.3　什么是膜片型干泵？

膜片型干泵是不使用油或液体的机械真空泵，非常适用于需要清洁环境且不受油蒸气污染的应用。随着近来半导体制造业和电子设备工业的快速发展，对隔膜真空泵的需求也在增加。

例如，IC的晶圆吸附装置、真空拉链、薄膜吸附、自动机械、包装机械、光学机械、真空镊子、医疗用机械、印刷机械等用途广泛。隔膜式真空泵的外观如图所示。通过安装在固定于偏心旋转轴上的隔膜(膜片)的移动来输送气体，隔膜的可移动量有限，因此较小容量的较多。

隔膜式真空泵的外观

隔膜式真空泵的结构