真空泵（高真空）的基础知识 摆动活塞型干泵
更新时间：2026-07-17
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什么是摆动活塞型干泵？
摆动活塞型干泵的外观如图所示。这种类型的泵是通过与偏芯旋转轴联动的活塞的往复运动来运送气体的机械式真空泵。
由于该真空泵无油，所以无法避免气缸和活塞环的滑动部的空气回流。该泵结构简单，因此极限压力低，但在低真空范围内可以获得稳定的压力。另外，根据机型,也可以作为压缩机的加压源使用。
此泵广泛应用于印刷电路板安装装置、真空包装机、包装材料吸附输送机、标签机、印刷油墨脱泡机、印刷机、照片制板机、丝网印刷机、脱泡机、沉浸机、烧结炉、抽吸机、汽车尾气分析机、冷媒回收装置、等离子切割装置等。
摆动活塞型真空泵的外观
摆动活塞型真空泵的结构
业内又称摇动活塞干泵，典型代表为爱发科 ULVAC DOP 系列，属于小型低真空无油容积泵，主打洁净负压吸附、小型气源，和涡旋、螺杆干泵定位wan全区分开
核心结构
偏心曲轴 + 一体式摆动活塞
电机直连偏心凸轮，活塞无连杆销轴，随曲轴做摆动 + 上下往复复合运动（Wobble 摇摆动作）；活塞外圈配耐磨橡胶 / PTFE 皮碗，与气缸内壁滑动密封，泵腔全程无润滑油。
单 / 双气缸并联
小型单缸、中大流量双缸并排，并联结构减小气流脉动。
单向进气 / 排气阀片
膜片式微型阀门，配合活塞往复完成吸排气；标配风冷散热风扇，整机无需水冷。
基础防护
内置过热保护、简易进气滤芯、排气消音棉；部分型号兼具抽真空 + 加压两用（SP 后缀机型可输出 0.5MPa 正压）。
工作原理
偏心轴旋转带动活塞在气缸内摆动往复：
吸气行程：活塞下行，气缸容积扩张，进气阀打开吸入空气；
压缩行程：活塞上行，容积缩小，气体被压缩推开排气阀排出；
循环往复持续抽气，泵腔wan全干式无油，仅曲轴轴承少量润滑油脂，不接触工艺气流。
