芯源微｜涂胶显影 & 单片清洗设备龙头

企业简介

芯源微（688037），科创板上市企业，中科院背景，国内唯yi可量产前道涂胶显影设备的国产设备厂商，2002 年成立。主营前道涂胶显影设备、单片式湿法清洗设备、后道先进封装涂胶显影与湿法设备，产品覆盖 8/12 英寸晶圆制造，前道涂胶显影机可与光刻机联机生产，打破海外厂商长期垄断；产品广泛应用于逻辑、存储、化合物半导体、先进封装产线，是光刻、湿法清洗环节国产设备核心标的，持续推进机械手、胶泵、热盘、流体控制、真空组件等核心零部件国产化验证沈阳芯源微...。

工况特点

涂胶显影、单片清洗设备属于晶圆湿法精密处理设备，运行于百级 / 千级洁净车间，涉及光刻胶、各类化学药液、高纯去离子水、真空吸附、精密温控。工况特点：药液具备腐蚀性，流体控制精度要求极gao，晶圆载台、热盘需要高精度均匀控温；设备内部真空吸附、流体输送、药液喷射单元长期接触化学试剂，对高纯阀门、精密流量计、陶瓷热盘、真空组件、耐腐蚀管路部件的耐化学腐蚀、洁净度、温控均匀性、微量流体控制精度要求极gao；设备与光刻机联机，对整机稳定性、零部件一致性要求严苛，微小污染或流量波动会直接造成晶圆报废。

玉崎半导体合作逻辑

芯源微作为涂胶显影、单片清洗设备整机厂商，设备流体输送、真空吸附、热控模块需要大量高纯精密零部件。玉崎半导体依托富士金高纯化学阀、荏原真空部件、NFK 南国工业精密陶瓷热件、关西金属特种耐腐蚀合金件等日系品牌资源，为芯源微提供新机研发、样机验证、批量生产、现场备件所需零部件。玉崎提供零部件化学兼容性评估、洁净度验证、工况选型、样品供给、华南现货仓储，配合芯源微开展设备集成、药液工艺调试、可靠性测试，保障整机在洁净、强化学腐蚀工况下稳定运行。

反向国产化替代配套

涂胶显影设备的流体控制、真空、热控零部件长期由海外厂商垄断，是国产设备降本与供应链安全的关键卡点。芯源微依托国内头部晶圆厂上机验证场景，反向牵引上游零部件国产化。玉崎半导体作为进口标gan零部件的供给方，提供对标样品、化学腐蚀工况参数、洁净度基准，支撑国内零部件厂商对标日系gao端产品进行开发；将国产零部件在真实湿法化学、洁净、精密温控工况下开展长时间上机验证，满足良率、洁净度、耐腐蚀指标后，逐步替代进口零部件，持续提升涂胶显影、单片清洗设备国产化率，降低海外供应链风险。

玉崎配套价值

玉崎半导体面向芯源微涂胶显影、单片湿法清洗设备，提供高纯流体、真空、精密热控零部件配套与工况技术服务。设备研发阶段，提供进口标gan零部件用于方案对标与工艺验证；批量生产阶段稳定供给高品质耐腐蚀、高洁净零部件，保障设备联机稳定性与晶圆良率；国产化替代项目中，提供对标测试支撑，协助国产零部件完成湿法化学严苛工况验证。玉崎结合前道光刻、湿法清洗的高洁净、强腐蚀工况特性，提供零部件选型与现场技术支持，支撑芯源微在保障设备工艺能力前提下，稳步推进上游零部件国产化，助力光刻配套设备、湿法清洗设备产业链自主可控。