粤芯半导体——大湾区 12 英寸特色工艺晶圆制造平台及供应链协同

一、公司简介

粤芯半导体（CanSemi）坐落于广州黄埔中新知识城，2017 年成立，是广东省shou家实现量产的 12 英寸晶圆制造企业，被誉为 “广州第一芯"，专注特色工艺晶圆代工，不生产自有芯片，面向国内 Fabless 客户提供成熟制程流片服务，是华南模拟芯片国产替代核心产能基地。公司主打 55nm–180nm 成熟特色工艺，覆盖电源管理、功率器件、混合信号、图像传感器、射频、硅光芯片，产品应用汽车电子、工业控制、物联网、消费电子、AI 光电融合场景。现有两座量产 12 英寸晶圆厂，四期项目在建，全部建成后总产能可达 12 万片 / 月，也是国内少数实现 12 英寸硅光晶圆大规模量产的厂商。

二、产品工况特点

粤芯产线属于12 英寸前道晶圆制造洁净产线，制程工艺对环境、介质、真空、温控、洁净度要求严苛：

1. 车间为 ISO1/2 级超高洁净环境，生产全程温湿度稳定管控，减少颗粒污染导致的晶圆良率损失；

2. 刻蚀、薄膜沉积、扩散、离子注入等工艺腔室长期处于高真空状态，需要稳定真空系统、精密流量计、特种阀门、加热器、陶瓷腔室零部件；

3. 功率器件、车规模拟芯片流片工况：高温工艺区间宽，部分工艺可达 500℃以上，腔室部件需要耐等离子腐蚀、高绝缘、低释气；

4. 硅光芯片工艺对气体纯度、流量控制精度要求ji高，微量杂质会直接影响光电损耗；

5. 车规级芯片生产，全流程可追溯，耗材与零部件必须满足高可靠性、批次一致性，支持 AEC-Q 车规认证配套要求。

三、玉崎半导体合作逻辑

玉崎半导体作为日系、韩系半导体设备及耗材代理商，面向粤芯前道产线提供进口精密零部件与配套技术服务，双方协同逻辑体现：

1. 产线设备耗材稳定供给：粤芯特色工艺产线大量使用真空泵、隔膜阀、质量流量计、陶瓷加热组件、高纯管路等进口核心配件，玉崎可提供荏原真空泵、TK-FUJIKIN 阀门、HORIBA 流量计等现货与备件，缩短进口交期，保障产线连续稼动；

2. 工艺工况匹配选型：针对粤芯功率器件、硅光工艺高温、等离子腐蚀工况，玉崎依托多年半导体现场经验，协助匹配耐蚀陶瓷件、真空密封件，替代部分海外原厂备件，降低采购成本；

3. 本地化快速技术服务：粤芯位于华南，玉崎华南团队可提供现场更换、故障排查、备件仓储本地化，减少设备停机时间，支撑产线扩产与工艺验证。
   
   

4. 玉崎半导体作为日系半导体设备及零部件授权代理商，手握 EBARA 荏原、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、miyuki 美幸辉、Fujikin 富士金、CKD、开滋、MTL、东方马达，骏河精机 SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ANALYZER 第一热研、Minebea美蓓亚、NFK 南国工业株式会社、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、SAKAGUCHI坂口电热、KOFLOC科赋乐、RGL JOINT利佳诺、TOFCO东富科等品牌原厂授权主营半导体整机设备、备品备件、精密工艺耗材、检测仪器，可提供产品选型、样品提供、现货供应、售后维保、国产化替代整体方案。

5. 产品覆盖真空、流体、光学、运动、热工、气体检测六大工艺板块，适配gao端制造严苛工况：

6. 1.真空类（荏原 EBARA、ULVAC 爱发科等）：干式真空泵、真空阀门、真空腔体组件。高抽速、低震动、低粉尘析出，耐工艺腐蚀气体，7×24h 连续稳定运行，用于腔体真空抽取，适配刻蚀、沉积、MLCC 烧结等真空制程，可应对高低温交变、颗粒管控严格的产线环境。

7. 2.流体输送与精密控制（富士金 Fujikin、CKD、开滋、KOFLOC 科赋乐、TOFCO 东富科等）：高纯阀门、质量流量计、接头、流体泵、管路组件。流量控制精度高、密封性强、低析出，适配陶瓷浆料输送、特种气体供给，满足半导体与 MLCC 浆料输送无颗粒、无泄漏、稳定输送的工艺要求。

8. 3.光学外观检测（CCS 晰写速、EYE 岩崎、SEN 日森、OTSUKA 大塚电子、SERIC 索莱克）：光源、UV 固化光源、光学镜头、视觉检测模组、光学测量仪器。照度均匀、光谱稳定、长寿命，抗车间粉尘与温漂，用于晶圆、陶瓷元器件外观缺陷检测、尺寸测量、UV 曝光固化。

9. 4.精密运动驱动（东方马达、骏河精机、杉山电机 SUGIYAMA、Minebea 美蓓亚）：精密电机、运动平台、伺服模组、微型传动组件。定位精度高、低抖动、响应速度快，支持高速分选、精密对位，适配 MLCC 高速分选、晶圆搬运等高节拍工况。

10. 5.炉体热工与气氛监测（坂口电热 SAKAGUCHI、NIKKATO 日陶、第一热研 ANALYZER、HAYASHI 林时计）：高温加热组件、陶瓷耐火件、气氛分析仪、温度传感器。耐高温、耐氧化，可在高温烧结炉内稳定监测炉内气氛、温度，适配MLCC 高温气氛烧结长时间连续炉内工况。

11. 6.检测仪器与耗材（SIBATA 柴田、HEIDON 新东科学等）：各类理化检测仪、工艺耗材、过滤耗材（TORAY 东丽），满足洁净车间颗粒、水质、摩擦、材料性能检测需求。

12. 原厂授权直供，品质溯源：拥有上述日系品牌正规授权，货源直接对接日本原厂，保障备件、耗材、设备为全新正品，原厂技术资料、测试报告完整，规避水货、翻新件风险，满足半导体 / MLCC 产线严苛品质追溯要求。