珂玛科技——半导体先进陶瓷精密零部件国产化与应用工况解析

公司简介

苏州珂玛材料科技（珂玛科技，301611），2009 年成立，国家ji专精特新小巨人企业，专注泛半导体先进陶瓷零部件研发制造 + 设备表面处理，拥有氧化铝、氮化铝、碳化硅、氧化钇等六大材料体系，覆盖从粉末成型、烧结、精密加工到等离子喷涂、清洗全链条，是国内半导体腔室陶瓷件国产替代头部厂商，产品进入北方华创、中微、拓荆等国产设备供应链，配套国内各大晶圆厂、封测厂深圳证券交...。核心产品：陶瓷加热器、静电卡盘、碳化硅腔室套件、陶瓷圆环、气流导流件、陶瓷手爪垫片等，大量部件直接接触晶圆，属于半导体前道设备核心精密耗材。

产品工况特点

珂玛陶瓷零部件安装在刻蚀、沉积、清洗设备真空腔内部，工况ji端苛刻：

1. 工作环境：高真空 + 强等离子轰击、腐蚀性工艺气体（含氟、氯系腐蚀气体）；

2. 温度工况：静电卡盘、陶瓷加热器可稳定承受宽区间高温，氮化铝陶瓷兼具高导热 + 高绝缘，局部瞬时温度波动大；

3. 材料性能要求：低颗粒脱落、低释气、高耐腐蚀、尺寸高精度，微小形变、掉粉都会造成晶圆报废；

4. 定制化属性ji强：不同设备型号、不同工艺（刻蚀 / PVD/CVD）对应的陶瓷件外形、涂层、尺寸均需单独加工，单件小批量居多，交付周期管控难度高；

5. 配套表面处理业务：等离子热喷涂、阳极氧化、精密清洗，用于修复腔室部件涂层，延长设备保养周期。

玉崎半导体合作逻辑

玉崎半导体与珂玛属于产业链互补型合作，打通进口设备备件 + 国产陶瓷零部件的组合方案：

1. 方案联合推荐：玉崎面向华南晶圆、封测客户，在进口设备维保项目中，把珂玛国产陶瓷加热器、陶瓷结构件作为进口件替代方案，在满足工况前提下降低客户耗材成本；

2. 工况联合验证：玉崎熟悉荏原、ULVAC 等日系设备腔体结构、真空工艺参数，可协助珂玛在客户现场做工况匹配、样品验证，加速国产陶瓷件上机测试；

3. 供应链渠道协同：玉崎掌握华南半导体客户设备维保、备件更换需求，将客户腔体零部件更换、翻新需求对接珂玛；珂玛则为玉崎提供国产精密陶瓷部件产品，丰富玉崎半导体耗材产品矩阵，形成 “进口设备备件 + 国产陶瓷零部件" 一体化供应能力。

玉崎半导体作为日系半导体设备及零部件授权代理商，手握 EBARA 荏原、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、miyuki 美幸辉、Fujikin 富士金、CKD、开滋、MTL、东方马达，骏河精机 SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ANALYZER 第一热研、Minebea美蓓亚、NFK 南国工业株式会社、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、SAKAGUCHI坂口电热、KOFLOC科赋乐、RGL JOINT利佳诺、TOFCO东富科等品牌原厂授权主营半导体整机设备、备品备件、精密工艺耗材、检测仪器，可提供产品选型、样品提供、现货供应、售后维保、国产化替代整体方案。

产品覆盖真空、流体、光学、运动、热工、气体检测六大工艺板块，适配gao端制造严苛工况：

1.真空类（荏原 EBARA、ULVAC 爱发科等）：干式真空泵、真空阀门、真空腔体组件。高抽速、低震动、低粉尘析出，耐工艺腐蚀气体，7×24h 连续稳定运行，用于腔体真空抽取，适配刻蚀、沉积、MLCC 烧结等真空制程，可应对高低温交变、颗粒管控严格的产线环境。

2.流体输送与精密控制（富士金 Fujikin、CKD、开滋、KOFLOC 科赋乐、TOFCO 东富科等）：高纯阀门、质量流量计、接头、流体泵、管路组件。流量控制精度高、密封性强、低析出，适配陶瓷浆料输送、特种气体供给，满足半导体与 MLCC 浆料输送无颗粒、无泄漏、稳定输送的工艺要求。

3.光学外观检测（CCS 晰写速、EYE 岩崎、SEN 日森、OTSUKA 大塚电子、SERIC 索莱克）：光源、UV 固化光源、光学镜头、视觉检测模组、光学测量仪器。照度均匀、光谱稳定、长寿命，抗车间粉尘与温漂，用于晶圆、陶瓷元器件外观缺陷检测、尺寸测量、UV 曝光固化。

4.精密运动驱动（东方马达、骏河精机、杉山电机 SUGIYAMA、Minebea 美蓓亚）：精密电机、运动平台、伺服模组、微型传动组件。定位精度高、低抖动、响应速度快，支持高速分选、精密对位，适配 MLCC 高速分选、晶圆搬运等高节拍工况。

5.炉体热工与气氛监测（坂口电热 SAKAGUCHI、NIKKATO 日陶、第一热研 ANALYZER、HAYASHI 林时计）：高温加热组件、陶瓷耐火件、气氛分析仪、温度传感器。耐高温、耐氧化，可在高温烧结炉内稳定监测炉内气氛、温度，适配MLCC 高温气氛烧结长时间连续炉内工况。

6.检测仪器与耗材（SIBATA 柴田、HEIDON 新东科学等）：各类理化检测仪、工艺耗材、过滤耗材（TORAY 东丽），满足洁净车间颗粒、水质、摩擦、材料性能检测需求。

原厂授权直供，品质溯源：拥有上述日系品牌正规授权，货源直接对接日本原厂，保障备件、耗材、设备为全新正品，原厂技术资料、测试报告完整，规避水货、翻新件风险，满足半导体 / MLCC 产线严苛品质追溯要求。