通富微电——全球化集成电路封测平台与洁净生产工况

公司简介

通富微电子（002156），国内头部集成电路封测企业，全球封测前五。总部江苏南通，国内布局南通、合肥、厦门、苏州，海外马来西亚槟城基地，提供从封装仿真、凸块加工、封装到成品测试一站式服务。核心技术覆盖 FCBGA、Chiplet、QFN/DFN、WLP，主打 AI 算力芯片、GPU、5G 射频、汽车电子、存储芯片封测，是国内少数可大规模量产gao端 FCBGA 封装的厂商，深度服务算力芯片客户启信宝。

产品工况特点

封测分为晶圆凸块、晶圆测试、塑封、切割、测试多工序，产线工况特点：

1. 晶圆凸块（Bumping）车间为高等级洁净车间，薄膜、电镀工艺对颗粒、金属离子污染控制严格；

2. 倒装 FCBGA 先进封装工艺：芯片键合、微凸块互联，对温控精度、压力均匀性要求ji高，工艺腔体需要稳定真空、高精度气体流量控制；

3. 塑封、切割、研磨工序：大量精密自动化设备，存在粉尘、微量塑封残渣，需要真空除尘、干式真空泵持续抽取；

4. 车规芯片封装：高低温循环老化测试，封装成品需要承受 - 40℃~125℃反复温度冲击，生产设备与工装夹具稳定性要求高；

5. 多基地全球化生产，备件种类多，包含真空泵、阀门、流量计、陶瓷吸嘴、真空吸盘、温控模块等耗材，设备稼动率直接影响封测产能。

玉崎半导体合作逻辑

通富微电多基地产线保有大量日系半导体封装、测试、真空设备，玉崎提供真空设备、精密流体零部件本地化备件与维保：

1. 真空系统供应：荏原干式真空泵、真空阀门、真空管路组件，适配晶圆研磨、等离子清洗、塑封除气、Bumping 电镀前处理等工序，保障真空稳定性；

2. 精密流体控制：HORIBA 流量计、TK-FUJIKIN 高纯隔膜阀，用于晶圆清洗、薄膜沉积工序，保障气体 / 药液流量稳定；

3. 多厂区备件仓储与快速维保：通富国内多工厂分布，玉崎华南仓现货 + 技术团队，支持备件快速交付、现场维修，降低先进封装产线停机损失；

4. 协同国产化选型：联合评估珂玛陶瓷吸嘴、陶瓷定位件等国产替代件，在不影响封测良率前提下优化备件采购成本。
   
   

玉崎半导体作为日系半导体设备及零部件授权代理商，手握 EBARA 荏原、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、miyuki 美幸辉、Fujikin 富士金、CKD、开滋、MTL、东方马达，骏河精机 SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ANALYZER 第一热研、Minebea美蓓亚、NFK 南国工业株式会社、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、SAKAGUCHI坂口电热、KOFLOC科赋乐、RGL JOINT利佳诺、TOFCO东富科等品牌原厂授权主营半导体整机设备、备品备件、精密工艺耗材、检测仪器，可提供产品选型、样品提供、现货供应、售后维保、国产化替代整体方案。

产品覆盖真空、流体、光学、运动、热工、气体检测六大工艺板块，适配gao端制造严苛工况：

1.真空类（荏原 EBARA、ULVAC 爱发科等）：干式真空泵、真空阀门、真空腔体组件。高抽速、低震动、低粉尘析出，耐工艺腐蚀气体，7×24h 连续稳定运行，用于腔体真空抽取，适配刻蚀、沉积、MLCC 烧结等真空制程，可应对高低温交变、颗粒管控严格的产线环境。

2.流体输送与精密控制（富士金 Fujikin、CKD、开滋、KOFLOC 科赋乐、TOFCO 东富科等）：高纯阀门、质量流量计、接头、流体泵、管路组件。流量控制精度高、密封性强、低析出，适配陶瓷浆料输送、特种气体供给，满足半导体与 MLCC 浆料输送无颗粒、无泄漏、稳定输送的工艺要求。

3.光学外观检测（CCS 晰写速、EYE 岩崎、SEN 日森、OTSUKA 大塚电子、SERIC 索莱克）：光源、UV 固化光源、光学镜头、视觉检测模组、光学测量仪器。照度均匀、光谱稳定、长寿命，抗车间粉尘与温漂，用于晶圆、陶瓷元器件外观缺陷检测、尺寸测量、UV 曝光固化。

4.精密运动驱动（东方马达、骏河精机、杉山电机 SUGIYAMA、Minebea 美蓓亚）：精密电机、运动平台、伺服模组、微型传动组件。定位精度高、低抖动、响应速度快，支持高速分选、精密对位，适配 MLCC 高速分选、晶圆搬运等高节拍工况。

5.炉体热工与气氛监测（坂口电热 SAKAGUCHI、NIKKATO 日陶、第一热研 ANALYZER、HAYASHI 林时计）：高温加热组件、陶瓷耐火件、气氛分析仪、温度传感器。耐高温、耐氧化，可在高温烧结炉内稳定监测炉内气氛、温度，适配MLCC 高温气氛烧结长时间连续炉内工况。

6.检测仪器与耗材（SIBATA 柴田、HEIDON 新东科学等）：各类理化检测仪、工艺耗材、过滤耗材（TORAY 东丽），满足洁净车间颗粒、水质、摩擦、材料性能检测需求。

原厂授权直供，品质溯源：拥有上述日系品牌正规授权，货源直接对接日本原厂，保障备件、耗材、设备为全新正品，原厂技术资料、测试报告完整，规避水货、翻新件风险，满足半导体 / MLCC 产线严苛品质追溯要求。