亨通光电：预制棒 PCVD气相沉积、光纤拉丝与 CPO 光纤工艺及工况

公司简介

江苏亨通光电股份有限公司（600487.SH），1991 年成立，总部江苏苏州吴江，上交所主板上市，全球光纤通信前三强、光通信行业shou家灯塔工厂。国内少数自主掌握光纤预制棒全套核心装备与 CCVD 原创制棒工艺，同步布局 PCVD、OVD 多路线预制棒量产，实现从石英衬管、预制棒、光纤、光缆延伸至 CPO 光引擎、FAU 光纤阵列、硅光模块全产业链。设立卓昱光子等子公司主攻 AI 算力光互联，聚焦空芯光纤、多芯光纤、保偏特种光纤、高密度光纤阵列 FAU、3.2T CPO 共封装光引擎，同时布局海底光缆、海上能源互联。核心工艺链路：高纯石英衬管提纯、CCVD/PCVD 管内等离子沉积、OVD 外气相粉体沉积、预制棒脱水烧结熔缩、2000℃+ 高温拉丝、光纤退火、双层紫外涂覆固化、光纤阵列 V 槽精密加工、端面研磨、CPO 光电耦合封装。石英光纤相比铜缆具备超大带宽、超低传输损耗、抗电磁干扰、低时延特性，适配 AI 智算集群、高速 CPO/OIO 共封装光互联、海底长距传输场景，是下一代算力网络与海洋光传输的核心光互联载体。

产品工况特点

预制棒 CCVD/PCVD 等离子气相沉积工序，高纯气体等离子反应环境亨通自研 CCVD 连续化学气相沉积工艺，搭配 PCVD 微波等离子体沉积，在高纯石英衬管内部激发等离子场，硅源、锗、氟等掺杂前驱气体发生气相反应，逐层沉积折射率可控石英薄层，后续高温熔缩形成实心芯棒。工艺腔持续等离子轰击、腐蚀性卤化物掺杂气体工况；腔体绝缘件、石英内衬、密封件需耐等离子侵蚀、低析出、极低颗粒污染，微小颗粒、水汽杂质会造成预制棒内部气泡、条纹、折射率剖面畸变，直接导致光纤衰减超标报废。衬管为薄壁高纯石英件，极易磕碰损伤；腔体温度均匀性、特种气体配比闭环控制精度严苛，高纯气体输送管路对泄漏率、洁净度要求ji高。

OVD 外沉积脱水烧结工艺，氢氧高温火焰 + 二氧化硅粉体沉积工况OVD 管外气相沉积依靠氢氧焰高温水解反应，在靶棒表面逐层沉积多孔二氧化硅粉体，再经氯气脱水、高温烧结玻璃化形成大尺寸预制棒母棒。生产工况伴随氢氧高温火焰、粉体扬尘、腐蚀性脱水气体；炉体保温件、陶瓷喷嘴、导向件需耐高温热冲击、抗粉体冲刷、低掉粉，粉体团聚、气流扰动会造成预制棒径向折射率不均。烧结炉维持负压气氛，真空抽排系统稳定度至关重要，粉尘一旦附着沉积面，将形成光纤内部散射缺陷，对空芯光纤、保偏光纤等gao端特种产品良率影响显著。

超长预制棒高温拉丝塔制程，2000℃以上高温 + 微张力精密控制工况最大 6 米超长预制棒送入拉丝塔石墨加热炉，2000℃以上高温软化石英母材，在高精度恒定微张力下拉制 125μm 裸石英光纤，单根预制棒可连续拉丝上万公里。石墨炉高温氧化环境，石墨件损耗快，炉内保护气氛、负压排气系统需要持续稳定运行；光纤直径在线实时闭环监测，张力微小波动即引发纤径偏差、微弯损耗抬升。裸纤脆性ji高，传输陶瓷导轮、导向槽要求超高光滑度、低摩擦、无硬质颗粒，防止光纤表面划痕、微裂纹，直接决定光纤机械强度与长期可靠性。拉丝后退火冷却单元温控均匀性要求高，消除光纤内部残余应力，保障保偏光纤应力区对称性。

光纤双层涂覆与紫外固化，高纯流体 + 紫外洁净工况裸光纤出拉丝炉后立刻进入涂覆工位，双层丙烯酸酯光敏涂层涂覆 + 紫外固化，形成 250μm 成品光纤。涂覆腔体维持高洁净等级，高纯光敏树脂药液依靠精密计量泵、高纯隔膜阀输送，流量漂移、药液杂质会造成涂层厚薄不均、内部气泡、涂层剥离失效。紫外辐照腔会挥发树脂单体，配套稳定排气系统，管控 VOC 与微小液滴污染，避免光纤表面微小缺陷。

FAU 光纤阵列研磨、CPO 光引擎耦合封装，微纳精密加工洁净工况面向 AI 算力 CPO 共封装场景的 FAU 光纤阵列单元，需要光纤精密排布、石英 V 槽定位、端面切割、纳米级光学研磨、光电耦合点胶固化。石英 V 槽基材脆性大，加工易崩边；端面表面粗糙度直接决定光耦合损耗，车间维持百级 / 千级洁净管控，颗粒污染会造成端面回损、耦合损耗超标。点胶、光电对准工位对载台平面度、定位精度、温控稳定性要求严苛，微小振动将造成光纤阵列与硅光波导对位偏移，影响 CPO 光引擎整体光学性能。

玉崎半导体合作逻辑

亨通预制棒气相沉积、超长拉丝塔、CPO 光纤阵列封装线大量配套日系真空设备、高纯流体元器件、耐高温精密陶瓷组件，玉崎半导体作为泛半导体与光电子设备耗材技术服务商，双方合作逻辑：真空系统配套供货供应荏原干式真空泵、真空波纹管、真空角阀、压力规组件，用于 CCVD/PCVD 等离子沉积腔、OVD 烧结炉、拉丝炉气氛负压抽排、光纤阵列真空吸附工位，维持腔体稳定负压，抑制振动，减少油气、粉尘污染，保障预制棒沉积均匀性、光纤拉丝直径稳定性，降低光纤衰减、微裂纹缺陷。高纯流体元器件方案提供高纯隔膜阀、质量流量计、高纯管路组件，用于 CCVD/PCVD/OVD 特种工艺气体输送、涂覆树脂药液供给，精准控制掺杂前驱体、高纯载气流量，严控微量杂质、水汽引入，保障预制棒折射率剖面一致性、涂层涂覆精度，支撑 CPO 光纤阵列、保偏光纤、空芯光纤gao端产品良率提升。精密陶瓷耗材协同提供定制陶瓷导轮、陶瓷导向件、陶瓷喷嘴、陶瓷绝缘内衬件，适配预制棒气相沉积、高温拉丝光纤导引、光纤阵列 V 槽载具；耐高温、低颗粒、高耐磨，降低光纤表面划伤、粉尘污染风险，推进光电子精密加工陶瓷耗材国产化替代，缩短备件交期。新工艺开发阶段技术协同玉崎熟悉日系真空、流体零部件工况参数，在亨通空芯光纤、多芯光纤、CPO-FAU 光纤阵列新工艺中试与产线扩产阶段，协助零部件选型评估、备件上机验证；产线量产阶段提供备件稳定供应、失效初步分析，缩短气相沉积、拉丝工艺调试周期，降低产线停机风险，支撑 AI 智算 CPO 光互联、新型特种光纤产业化落地。

总结

亨通光电依托自主 CCVD 原创预制棒工艺，叠加 PCVD/OVD 多路线沉积技术，从传统通信光纤光缆延伸至 AI 智算 CPO 共封装光互联、空芯光纤、保偏光纤、高密度 FAU 光纤阵列gao端赛道。产线工况融合等离子气相沉积、2000℃超高温拉丝、粉体高温烧结、高纯流体涂覆、光学精密研磨，兼具等离子腐蚀、高温热冲击、粉体粉尘、高纯洁净环境等复杂工况，对真空系统、高纯阀组、耐高温精密陶瓷组件稳定性要求高。玉崎半导体依托荏原真空泵、高纯流体元器件、先进陶瓷耗材产品线，为亨通预制棒产线、超长拉丝塔、光纤阵列封装中试线与量产产线提供设备零部件、耗材方案与工况验证支持，共同推进光通信与 CPO 光电封装设备配套供应链国产化。