中天科技：预制棒 VAD+OVD 全合成气相沉积

公司简介

江苏中天科技股份有限公司（600522.SH），1992 年成立，总部江苏南通如东，上交所主板上市企业，国内特种光纤光缆龙头，实现棒 — 纤 — 缆 — 光互联组件全产业链自主可控。国内shuai先掌握 VAD+OVD 全合成预制棒量产工艺，自研预制棒生产装备，从传统通信光纤、海缆延伸至 AI 智算光互联赛道。旗下精密材料子公司主攻预制棒制造，光器件板块布局空芯光纤、保偏特种光纤、高密度 FAU 光纤阵列、1.6T 硅光模块、CPO 配套无源光组件，空芯光纤shuai先在国内 AI 数据中心实现规模化试点应用，同时深耕海底光缆、电力通信光缆。核心工艺链路：高纯石英原料提纯、VAD 轴向气相沉积、OVD 管外粉体沉积、多孔预制棒脱水烧结、高温熔缩、2000℃+ 高温光纤拉丝、光纤退火、双层紫外涂覆固化、光纤阵列 V 槽微加工、端面纳米研磨、CPO 光器件耦合封装。石英光纤具备超大带宽、超低传输损耗、抗电磁干扰、低时延特性，适配 AI 智算集群、CPO 共封装光互联、海底长距离传输场景，是算力网络与海洋光传输的核心光互联载体。

产品工况特点

预制棒 VAD+OVD 全合成气相沉积工序，氢氧高温火焰 + 高纯粉体沉积环境中天采用 VAD 制备芯棒、OVD 沉积外包层的全合成预制棒路线，氢氧焰高温水解硅源、掺杂气体，逐层生成二氧化硅多孔粉体，通过锗、氟元素精准掺杂调控折射率剖面，再经氯气高温脱水、烧结玻璃化，形成无套柱依赖的大尺寸预制棒母棒。工艺工况伴随氢氧高温火焰、粉体扬尘、腐蚀性脱水卤素气体；炉体保温件、陶瓷喷嘴、粉体导向件需耐高温热冲击、抗粉体冲刷、低掉粉，粉体团聚、气流扰动会造成预制棒径向折射率不均、内部气泡缺陷。烧结炉维持稳定负压，真空抽排系统稳定性要求高，微小粉尘附着沉积面，会形成光纤内部散射损耗，对空芯光纤、保偏光纤等gao端特种产品良率影响显著。高纯前驱气体输送管路对泄漏率、洁净度管控严苛，微量水汽、杂质会造成羟基超标，直接抬升光纤衰减。

预制棒脱水烧结与熔缩制程，高温负压 + 腐蚀性气氛工况多孔预制棒脱水阶段通入氯气等腐蚀性气体去除羟基杂质，在高温负压炉内完成致密化烧结，后续高温熔缩形成实心预制棒。腔体内部长期处于高温 + 卤素腐蚀气氛，密封件、陶瓷内衬件必须耐卤素腐蚀、低析出、低颗粒；炉内温度场均匀性要求ji高，局部温差会造成预制棒开裂、折射率剖面畸变。负压真空系统需要持续稳定抽气，抑制粉尘回流，避免二次污染。

超长预制棒高温拉丝塔制程，2000℃以上高温 + 微张力精密控制工况大尺寸预制棒送入拉丝塔石墨加热炉，2000℃以上高温软化石英母材，高精度恒定微张力下拉制 125μm 裸石英光纤，依托自研拉丝装备实现高速稳定拉丝。石墨炉高温氧化环境，石墨件损耗速率高，炉内保护气氛、负压排气系统持续稳定运行；光纤直径在线闭环监测，张力微小波动即可引发纤径偏差、微弯损耗上升。裸纤脆性ji强，传输陶瓷导轮、导向槽要求超高光滑度、低摩擦、无硬质颗粒，防止光纤表面划痕、微裂纹，直接决定光纤机械强度与长期可靠性。拉丝后退火冷却单元温控均匀性要求高，消除光纤内部残余应力，保障保偏光纤应力区对称性。

光纤双层涂覆与紫外固化，高纯流体 + 紫外洁净工况裸光纤出拉丝炉后立刻进入涂覆工位，双层丙烯酸酯光敏涂层涂覆 + 紫外固化，形成 250μm 成品光纤。涂覆腔体维持高洁净等级，高纯光敏树脂药液依靠精密计量泵、高纯隔膜阀输送，流量漂移、药液杂质会造成涂层厚薄不均、内部气泡、涂层剥离失效。紫外辐照腔会挥发树脂单体，配套稳定排气系统，管控 VOC 与微小液滴污染，避免光纤表面微小缺陷。

FAU 光纤阵列研磨、CPO 光器件耦合封装，微纳精密加工洁净工况面向 AI 算力 CPO 共封装场景的 FAU 光纤阵列单元，需要光纤精密排布、石英 V 槽定位、端面切割、纳米级光学研磨、光电耦合点胶固化。石英 V 槽基材脆性大，加工易崩边；端面表面粗糙度直接决定光耦合损耗，车间维持百级 / 千级洁净管控，颗粒污染会造成端面回损、耦合损耗超标。点胶、光电对准工位对载台平面度、定位精度、温控稳定性要求严苛，微小振动将造成光纤阵列与硅光波导对位偏移，影响 CPO 光引擎整体光学性能。

玉崎半导体合作逻辑

中天预制棒气相沉积、拉丝塔、CPO 光纤阵列封装线大量配套日系真空设备、高纯流体元器件、耐高温精密陶瓷组件，玉崎半导体作为泛半导体与光电子设备耗材技术服务商，双方合作逻辑：真空系统配套供货供应荏原干式真空泵、真空波纹管、真空角阀、压力规组件，用于 VAD/OVD 气相沉积腔、预制棒脱水烧结炉、拉丝炉气氛负压抽排、光纤阵列真空吸附工位，维持腔体稳定负压，抑制振动，减少油气、粉尘污染，保障预制棒沉积均匀性、光纤拉丝直径稳定性，降低光纤衰减、微裂纹缺陷。高纯流体元器件方案提供高纯隔膜阀、质量流量计、高纯管路组件，用于 VAD/OVD 特种工艺气体输送、涂覆树脂药液供给，精准控制掺杂前驱体、高纯载气流量，严控微量杂质、水汽引入，降低光纤羟基损耗，保障预制棒折射率剖面一致性、涂层涂覆精度，支撑 CPO 光纤阵列、空芯光纤、保偏光纤gao端产品良率提升。精密陶瓷耗材协同提供定制陶瓷导轮、陶瓷导向件、陶瓷喷嘴、陶瓷绝缘内衬件，适配预制棒气相沉积、高温拉丝光纤导引、光纤阵列 V 槽载具；耐高温、低颗粒、高耐磨，降低光纤表面划伤、粉尘污染风险，推进光电子精密加工陶瓷耗材国产化替代，缩短备件交期。新工艺开发阶段技术协同玉崎熟悉日系真空、流体零部件工况参数，在中天空芯光纤、CPO-FAU 光纤阵列新工艺中试与产线扩产阶段，协助零部件选型评估、备件上机验证；产线量产阶段提供备件稳定供应、失效初步分析，缩短气相沉积、拉丝工艺调试周期，降低产线停机风险，支撑 AI 智算 CPO 光互联、新型特种光纤产业化落地。

总结

中天科技依托 VAD+OVD 全合成预制棒自主工艺，搭配自研制棒与拉丝装备，从传统通信光纤、海缆延伸至 AI 智算 CPO 共封装光互联、空芯光纤、保偏光纤、高密度 FAU 光纤阵列gao端赛道。产线工况融合氢氧火焰粉体沉积、高温卤素脱水烧结、2000℃超高温拉丝、高纯流体涂覆、光学精密研磨，兼具粉体冲刷、卤素腐蚀、高温热冲击、高纯洁净环境等复杂工况，对真空系统、高纯阀组、耐高温精密陶瓷组件稳定性要求高。玉崎半导体依托荏原真空泵、高纯流体元器件、先进陶瓷耗材产品线，为中天预制棒产线、拉丝塔、光纤阵列封装中试线与量产产线提供设备零部件、耗材方案与工况验证支持，共同推进光通信与 CPO 光电封装设备配套供应链国产化。