半导体精密激光装备龙头：杰普特光电技术解析

杰普特公司简介

深圳市杰普特光电股份有限公司（JPT，688025），深圳本土科创板上市企业，国家ji高新技术企业，国内自研激光器 + 激光精密加工智能装备头部厂商，定位泛半导体、新能源、光通信精密激光微加工解决方案供应商深圳市杰普...。公司总部位于深圳，在深圳、惠州、泰国设立生产基地，海外布局新加坡、美国研发与销售网点。

杰普特核心业务分为三大板块：自研激光器（光纤、紫外、皮秒 / 飞秒超快激光、半导体泵浦激光器）、激光智能加工装备、光纤无源器件。在半导体赛道主打泛半导体后段与晶圆级精密激光工艺，产品面向功率器件、IC 载板、陶瓷基板、晶圆薄膜修调、MLCC 被动元件等场景，是国内少数可实现晶圆激光调阻设备国产化的厂商，客户覆盖国内多家晶圆厂、封测厂、第三代半导体器件厂商（含比亚迪半导体、润鹏半导体等功率产线）深圳市杰普...。

定位区分：杰普特不生产芯片，属于半导体设备厂商，提供激光微加工工艺装备；比亚迪半导体是 IDM 芯片制造；润鹏是晶圆代工 Foundry。

核心产品与工况特点

杰普特面向半导体行业的主力产品分为激光光源与激光加工整机设备两大类，核心用于晶圆、陶瓷基板、IC 载板、功率器件封装的微加工工序。

1. 核心产品矩阵（半导体方向）

1. 晶圆激光调阻机（主力产品）用于 4~8 英寸晶圆薄膜 / 厚膜电阻、BMS、电源管理芯片晶圆的阻值修正，边测边调，精准修阻，是模拟、功率芯片晶圆测试环节关键设备。阻值测量范围 0.1mΩ~1GΩ，修阻精度最高 ±0.01%，适配车规 BCD 工艺晶圆。

2. 陶瓷基板 / IC 载板激光切割、钻孔设备用于 SiC、氮化铝陶瓷基板、IC 载板开窗、开槽、钻孔，第三代半导体功率模块封装核心工艺设备。

3. 超快紫外 / 皮秒飞秒激光器冷加工光源，用于脆性材料微切割、薄膜刻蚀，热影响区极小，避免晶圆、陶瓷基板产生微裂纹，保障功率器件长期可靠性。

4. MOPA 脉冲光纤激光器、半导体泵浦激光器用于半导体封装打标、功率模块金属焊接、塑封层激光清洗。

2. 产品工况特点

（1）半导体加工工艺工况（设备加工端）

• 超高加工精度：定位精度可达 ±1μm，光斑能量高度均匀稳定；车规芯片、SiC 陶瓷基板加工不允许产生微裂纹、热损伤，否则直接影响器件 AEC-Q100 可靠性。

• 24h 连续量产稳定性：激光器功率漂移控制严格，长时间批量加工下，能量一致性直接决定晶圆良率；适合晶圆厂、封测厂不间断生产模式。

• 洁净车间适配：整机可适配 ISO2~ISO4 洁净车间，低粉尘、低振动，匹配前道晶圆、后段功率封装车间环境。

• 多材质兼容：可加工硅晶圆、氮化铝陶瓷、玻璃、PI、金属铜 / 银烧结层，适配 IGBT、SiC 功率模块封装多材料复合结构。

（2）设备内部运行工况（设备本体，玉崎配套切入点）

杰普特激光设备内部集成真空吸附平台、腔体、气体保护回路、压力监测、精密流体气路、温控冷却系统：

• 晶圆载台需要真空吸附固定晶圆，保证高速运动过程不偏移；需要干式真空泵、真空阀、压力传感器；

• 激光加工腔体通入保护高纯工艺气体，抑制氧化、抑制等离子飞溅，需要 MFC 质量流量计、调压阀、高纯密封组件；

• 高功率激光器发热量大，需要精密温控、水冷组件维持光源波长与功率稳定；

• 设备腔体、气路部件需要耐粉尘、耐腐蚀，长期连续运行，备件可快速更换。

玉崎半导体合作逻辑

杰普特作为半导体激光装备制造商，分为两个层面需求：设备整机制造配套元器件 + 交付客户产线现场备件维护。玉崎半导体（京都玉崎华南）作为日系真空、流体、测控元器件一级代理商，双方协同逻辑如下：

1. 设备气路与真空系统元器件配套需求匹配

杰普特激光加工设备、晶圆调阻机、陶瓷切割设备大量配置真空吸附系统、高纯气体输送管路：

• 真空载台：EBARA 荏原干式真空泵、真空隔膜阀、压力传感器，实现晶圆稳定吸附；

• 工艺保护气路：TK-FUJIKIN 高纯阀门、HORIBA 质量流量计 MFC，精准控制保护气体流量，控制激光加工环境，防止工件氧化、产生加工缺陷；

• 腔体密封件、流体调压组件，用于设备整机装配。这些精密元器件直接决定激光加工的定位稳定性、光斑环境、加工良率，是gao端激光微加工设备的核心辅件。

2. 装备交付后的产线运维与备件保障

杰普特设备交付至比亚迪半导体、润鹏半导体等晶圆 / 封测客户现场，产线连续生产，真空、气路元器件属于消耗件，需要定期预防性更换。

• 玉崎华南本地仓储备件，快速响应客户现场设备维护，缩短停机时间；

• 提供原厂元器件选型、工况评估，协助杰普特做设备可靠性验证，在设备研发阶段完成元器件工况匹配测试。

3. 国产gao端激光装备的供应链协同

杰普特属于半导体设备国产替代赛道，自研激光主机、光学系统，但真空、精密流体测控这类核心元器件，短期内优先选用经过长时间验证的日系成熟产品，保障设备稳定性与良率。

• 短期：选用日系成熟真空、流体元器件，保障激光设备整机稳定性，满足车规半导体产线严苛生产要求；

• 中长期：双方联合评估零部件国产化替代方案，逐步优化供应链结构，降低交期风险与成本；

• 技术协同：玉崎可提供真空、流体元器件工况参数、耐腐、疲劳寿命数据，支撑杰普特设备迭代、新工艺开发（如 SiC 陶瓷超快激光加工）。

4. 产业生态联动

杰普特的终端客户就是润鹏、比亚迪半导体这类功率晶圆厂、IDM 封测产线；玉崎同时服务设备厂商 + 晶圆制造工厂，形成元器件供应商（玉崎）→激光设备厂商（杰普特）→半导体芯片制造工厂（比亚迪 / 润鹏） 的完整供应链链路。玉崎可同步打通上下游工艺信息，理解产线实际工况，辅助杰普特优化设备设计，更好匹配华南功率半导体产线需求。

结语

杰普特光电是国内泛半导体精密激光装备国产化核心力量，依托自研激光器技术，为晶圆调阻、陶瓷基板切割、功率器件封装提供激光微加工解决方案，设备对真空、高纯流体、精密测控元器件有较高依赖。玉崎半导体凭借日系工业元器件代理资源与华南本地化技术服务能力，为杰普特激光设备提供真空、气路配套元器件，支撑设备研发、整机制造以及下游半导体产线的现场运维保障；双方协同，共同助力国内车规功率半导体制造工艺升级与半导体设备国产化落地。