阿石创：PVD 溅射靶材龙头，半导体显示薄膜核心材料厂商

公司简介

福建阿石创新材料股份有限公司（300706），2002 年创立，总部福建福州，2017 年深交所上市，国家ji专精特新小巨人、国家制造业单项冠jun企业，国内 PVD 镀膜材料龙头，深耕物理气相沉积薄膜材料二十余年。公司拥有福建、江苏等多处生产基地，自主研发超 200 款gao端镀膜材料，构建溅射靶材 + 蒸镀材料 + 镀膜配件全品类 PVD 材料体系，业务覆盖新型显示、半导体集成电路、光学光通信、光伏新能源四大赛道，其中显示用钼靶材全球市占率领xian。

公司核心业务为各类高纯金属 / 合金溅射靶材、真空蒸镀材料研发生产，产品用于晶圆金属化、显示面板薄膜层、光学镀膜、HJT 异质结光伏电池导电膜制备。下游客户包含京东方、华星光电、舜宇光学、国内头部晶圆厂、功率半导体 IDM 企业。靶材产品已批量导入半导体前道、先进封装、高世代显示产线，是国内 PVD 镀膜材料国产替代核心主力厂商。

核心产品矩阵

• 半导体溅射靶材：钽靶、铜靶、钛靶、铝靶、硅靶等高纯靶材，用于集成电路晶圆金属互连、阻挡层、钝化层、先进封装薄膜制备，适配 8/12 英寸晶圆 PVD 溅射工艺。

• 显示面板靶材：钼靶、ITO 靶、铜合金、银合金靶材，适配 G3.5~G10.5 高世代产线，用于 TFT-LCD、AMOLED 薄膜晶体管金属线路层。

• 光伏镀膜靶材：ITO 靶、AZO 靶，用于 HJT 异质结、钙钛矿太阳能电池透光导电薄膜。

• 光学光通信镀膜材料：各类金属、介质蒸镀料与溅射靶材，用于镜头滤光片、光器件光学薄膜。

• 真空蒸镀材料：金属颗粒、介质颗粒、合金料，配套真空蒸镀设备，实现光学、电子器件薄膜沉积。

客户覆盖国内头部面板厂、半导体晶圆厂、光学元器件企业、光伏龙头qi业，靶材产品持续导入多条 12 英寸集成电路产线、第三代半导体功率器件产线，同步实现海外面板与半导体客户供货，是 PVD 薄膜环节国产材料biao杆厂商。

产品工况特点

阿石创靶材、蒸镀材料应用于半导体 / 显示百级、千级真空 PVD 镀膜机台，靶材在真空等离子环境下完成薄膜沉积，对腔体真空度、气体纯度、等离子稳定性、洁净度、杂质控制要求ji高，工况特征如下：

1. 高真空 + 等离子轰击连续工艺工况PVD 溅射腔体维持高真空，通入高纯氩气等工艺气体起辉形成等离子体；高能离子持续轰击靶材表面，靶原子逸出沉积在晶圆 / 玻璃基板表面。产线机台 7×24 小时连续量产，单次镀膜批次多、循环作业。真空泄漏、气体杂质会造成薄膜针孔、杂质污染，直接影响器件良率与电性稳定性。配套真空阀门、波纹管、密封件、流量计、真空计需低放气、耐等离子腐蚀、泄漏率极低。

2. 高纯气氛与工艺参数精密控制溅射工艺对气体流量、腔体压力、等离子功率波动极其敏感。薄膜厚度、方阻、均匀度wan全依赖稳定供气与真空环境。气体管路、压力流量控制器件性能漂移，会造成薄膜厚度不均、电阻率超标、膜层应力异常，引发芯片短路、面板显示不良。

3. 超高洁净、低析出、低颗粒控制靶材使用场景为半导体 / 显示洁净车间，整套真空腔体、管路、密封辅件必须低出气、耐等离子、耐金属溅射污染。密封圈、波纹管、真空阀一旦析出杂质、产生微颗粒，会附着在晶圆 / 基板表面，造成批量产品报废。

4. 自动化量产，对接产线 MES 系统镀膜机台全流程自动化，基板传送、起辉溅射、膜厚监测自动运行，可对接工厂 MES 系统，记录工艺参数，支撑良率追溯与工艺迭代；支持大批量连续生产，适配半导体、面板、光伏规模化量产需求。

5. 多规格基板兼容，柔性工艺适配靶材可适配不同尺寸晶圆、玻璃基板；半导体靶材兼容 8/12 英寸晶圆，显示靶材覆盖各世代面板，单台镀膜设备可切换不同靶材与工艺配方，满足客户从研发中试到大规模量产的需求。

与玉崎半导体合作逻辑

双方合作核心逻辑：国产 PVD 靶材材料产业化落地 + 真空、高纯流体、密封精密零部件供应链保障，聚焦半导体、显示、光伏 PVD 镀膜产线新机投产、设备维保两大场景形成产业链协同。

1. 供应链补链：补齐 PVD 镀膜设备gao端辅件短板阿石创专注靶材、蒸镀材料研发制造；下游客户 PVD 镀膜主机设备配套的真空阀门、波纹管、高纯气体管路、压力 / 流量控制器、特种密封件、真空计、流体传感器等精密零部件大量采用日系、欧美进口产品。这类零部件认证周期长、等离子工况严苛，国内部分品类国产化尚不成熟。玉崎半导体作为日系工业零部件华南一级代理商，提供原装正品、稳定库存、本地化快速交付，解决镀膜产线装配、备件更换时进口件交期长、采购渠道分散痛点，保障产线投产效率与现场维保响应速度。

2. 工艺场景协同：保障真空与高纯气体子系统长期稳定PVD 溅射薄膜良率高度依赖真空与高纯气体输送子系统稳定性。玉崎半导体可结合 PVD 等离子溅射工况，提供耐等离子、低放气的密封件、真空组件选型与工况验证。新建半导体晶圆、高世代显示、HJT 光伏镀膜产线项目中，阿石创提供靶材核心薄膜材料，玉崎配套真空流体辅件与现场技术支持，减少终端客户多方供应商对接成本，保障腔体真空稳定性、气体纯度，降低颗粒污染、薄膜缺陷风险，提升基板良率。

3. 区域市场协同，深耕华南半导体、显示与光伏产业集群华南聚集大量功率半导体、先进封装、光学、光伏企业，是阿石创重点拓展市场。玉崎半导体扎根华南，具备本地仓储、快速现场技术服务能力。双方联动，快速响应华南客户镀膜产线新机导入、设备改造、备件更换需求，缩短项目落地周期，共同拓展车载芯片、储能光伏、光通信器件赛道。

4. 长期产业目标，助力薄膜材料装备供应链自主可控短期：依托进口高品质真空流体辅件，保障下游 PVD 镀膜机台稳定运行，加速国产阿石创靶材在 12 英寸晶圆、功率器件、gao端显示产线验证导入；中长期：联合开展零部件等离子工况测试验证，推动真空、密封、流体辅件国产化替代，逐步降低镀膜设备整机对外进口零部件依赖，共同服务半导体薄膜材料国产替代战略。

结语

阿石创凭借二十余年 PVD 镀膜材料技术积累，打造覆盖半导体、新型显示、光学、光伏的全品类靶材产品平台，打破海外厂商在gao端溅射靶材领域长期垄断。PVD 溅射薄膜制备的稳定量产，高度依赖真空、流体、密封等精密配套子系统。阿石创与玉崎半导体的协同，是国产薄膜材料龙头与gao端工业零部件服务商典型的产业链互补合作，通过供应链补链、产线一体化方案交付，共同赋能国内半导体、新型显示、新能源光伏薄膜产业高质量发展。