京仪装备：半导体配套装备龙头，晶圆产线温控、传片、尾气处理核心厂商

公司简介

北京京仪自动化装备技术股份有限公司（688652），2016 年设立，总部位于北京亦庄，2023 年科创板上市，实控人为北京市国资委，国内半导体配套设备细分赛道龙头，国家ji专精特新企业，是国内率xian实现半导体专用温控设备大规模量产装机的国产厂商。依托京仪集团装备产业积淀，聚焦半导体前道配套装备研发制造，布局北京、安徽研发生产基地，核心产品覆盖温控、晶圆传输、工艺尾气处理、干式真空泵四大方向，配套刻蚀、薄膜沉积、离子注入、扩散、CMP 等核心工艺设备，服务集成电路、化合物半导体、新型显示等赛道，温控设备国内市占率行业di一36氪。

公司主营半导体专用 Chiller 温控设备、晶圆传片设备、Local Scrubber 工艺废气处理设备、干式真空泵等配套装备，适配 12 英寸产线，覆盖逻辑芯片 90nm~14nm、3D NAND 64 层～192 层先进存储制程。下游核心客户包含中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、广州粤芯等国内头部晶圆厂，同时配套中微、北方华创、屹唐、泛林、TEL、应用材料等国内外主设备厂商，是国内晶圆产线配套装备国产替代biao杆企业。

核心产品矩阵

1. 半导体专用温控设备（Chiller）：单 / 双通道精密温控机组，控温区间覆盖 - 120℃~120℃，带载控温精度可达 ±0.3℃，用于刻蚀、PVD/CVD 薄膜沉积、离子注入腔体恒温控制，保障工艺温度稳定，是产线标配配套设备北京京仪自...。

2. 晶圆传片设备（Sorter/EFEM）：晶圆分拣、对准、翻片、ID 读取、盒内传片自动化设备，在百级洁净环境完成晶圆流转，规避人工接触污染，适配 8/12 英寸 FOUP 晶圆盒，对接工厂自动化 FA 系统。

3. 工艺废气处理设备（Local Scrubber）：等离子 + 燃烧湿法一体化尾气处理单元，针对刻蚀、薄膜工艺含氟、可燃、有毒工艺废气就地处理，满足环保排放与厂区安全规范，适配高腐蚀、易燃易爆工艺气体工况。

4. 干式真空设备（Dry Pump）：自研 VCH 爪式、VRM 多级罗茨干泵，抽速 600~3000m³/h，适配半导体工艺抽真空需求，目前已进入晶圆厂验证阶段，补齐国产真空配套短板。

客户覆盖国内头部逻辑、存储、功率半导体晶圆厂、化合物半导体企业、面板厂商；设备批量落地多条 12 英寸先进制程产线，同步配套海外主设备厂国内产线，是半导体前道配套装备国产biao杆。

产品工况特点

京仪装备配套设备运行于半导体百级洁净车间，紧贴刻蚀、薄膜沉积等核心工艺腔体，和工艺腔体真空、流体、热环境深度联动，对稳定性、洁净度、耐腐蚀性、温控一致性、低颗粒要求ji高，工况特征如下：

• 连续 7×24 小时不间断量产，负荷波动大：设备跟随主工艺机台全年连续运行；刻蚀、薄膜工艺启停时腔体热负荷剧烈变化，Chiller 需要快速跟随调温，温度漂移直接造成晶圆膜厚不均、刻蚀速率偏移，引发整片批次报废。配套密封件、波纹管、流量控制器、压力传感器需要长期耐交变温度、稳定无泄漏。

• 强腐蚀工艺介质、等离子尾气工况：Scrubber 与真空管路接触含氟、氯、硅烷等强腐蚀、易燃易爆工艺废气；管路、阀门、密封组件需要耐化学腐蚀、耐等离子冲刷，一旦腐蚀泄漏会带来安全风险与交叉污染。

• 超高洁净、低析出、微颗粒管控：晶圆传片腔体、Chiller 循环回路、真空管路全部要求低放气、低析出；密封圈、流体管件析出物、脱落颗粒一旦进入晶圆洁净空间，直接造成晶圆表面缺陷、良率损失，满足 SEMI 半导体洁净标准。

• 精密流体闭环控制，参数高一致性：温控回路冷媒流量、压力，尾气处理供气、真空抽速需要持续稳定控制；流量计、真空计、调压阀性能漂移，会带来控温失稳、尾气处理失效、真空度异常，触发机台 E-stop 停机。

• 深度对接工厂自动化与 MES 系统：设备自带 PLC 与通讯接口，对接 FA、MES 系统，实时上传温度、压力、流量、报警等工艺数据，支持故障自诊断、远程运维、工艺追溯，适配晶圆厂智能化、自动化量产体系。

• 多制程、多机台兼容适配：产品兼容国内外主流刻蚀、沉积设备，可灵活匹配逻辑、存储、功率器件、第三代半导体不同工艺配方，支持新机导入、老产线改造备件替换，兼顾研发中试与大规模量产。

玉崎半导体合作逻辑

双方合作主线：国产半导体配套装备落地 + 真空、高纯流体、特种密封精密零部件供应链保障，聚焦晶圆厂新建产线装机、存量产线维保改造两大场景深度协同。

1. 供应链补链：补齐温控、真空、尾气系统gao端辅件短板京仪装备专注整机研发、系统集成、算法控制；Chiller 冷媒回路、真空管路、Scrubber 废气管路配套的波纹管、特种密封件、真空阀门、压力 / 流量控制器、真空计、流体传感器大量依赖日系、欧美进口零部件。这类零部件耐温耐腐、低析出认证周期长，半导体工况门槛高，国产化成熟度有限。玉崎半导体作为日系工业零部件华南一级代理商，提供原装正品、稳定库存、本地化快速交付，解决整机装配、产线备件更换时进口件交期长、采购渠道分散痛点，保障整机交付、现场维保响应效率。

2. 工艺场景协同，保障流体、真空、温控子系统长期稳定半导体工艺良率高度依赖温控回路、真空管路、废气子系统稳定。玉崎半导体结合刻蚀、PVD/CVD 尾气、冷媒循环苛刻工况，提供耐高低温、耐等离子腐蚀、低放气密封件、真空流体组件选型和工况验证。新建 12 英寸晶圆、功率半导体产线项目中，京仪提供 Chiller、Sorter、Scrubber、干泵配套整机，玉崎配套真空流体辅件与现场技术支持，减少终端客户多供应商对接成本，降低泄漏、颗粒污染、腐蚀失效风险，保障腔体温度、真空、尾气处理稳定，提升晶圆良率。

3. 区域市场协同，深耕华南功率半导体、先进封装集群华南聚集大量功率器件、第三代半导体、先进封装、光学芯片产线，是京仪装备重点拓展市场。玉崎半导体扎根华南，本地仓储、快速上门技术服务，双方联动，快速响应华南晶圆厂新机配套、产线技改、备件更换需求，缩短项目验证落地周期，共同拓展 SiC/GaN 功率半导体、储能芯片赛道。

4. 长期产业目标，助力半导体配套装备供应链自主可控短期：依托高品质进口真空流体、密封辅件，保障京仪国产配套设备稳定装机，加速 Chiller、Scrubber、干式真空泵在 12 英寸存储、逻辑、功率产线验证导入；中长期：联合开展零部件高低温、腐蚀、等离子工况测试验证，推动真空、密封、流体辅件国产化替代，降低国产配套整机对外购零部件依赖，共同服务半导体前道装备国产替代战略。

结语

京仪装备凭借多年半导体配套装备技术积累，打造覆盖温控、晶圆传输、尾气治理、真空设备的配套装备平台，打破海外厂商在半导体 Chiller、就地尾气处理设备领域长期垄断。刻蚀、薄膜等前道工艺稳定量产，离不开精密温控回路、真空流体管路、特种密封子系统支撑。京仪装备与玉崎半导体的协同，是国产半导体配套装备龙头与gao端工业零部件服务商典型产业链互补合作，通过供应链补链、一体化配套方案交付，共同赋能国内集成电路、第三代半导体产业高质量发展。