更新时间:2026-08-11
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EV‑PA250:微型(桌面级 / 便携 / 分析仪器)
EV‑PA500:小型(实验室 / 小腔室 / 检漏)
| 型号 | 抽速 (L/min)(气镇关 / 开) | 极限真空 (Pa)(气镇关 / 开) | 电机功率 (kW) | 重量 (kg) | 电源 |
|---|---|---|---|---|---|
| EV‑PA250 | 230 / 200 | 0.5 / 2.0 | 0.24(极限) | 16 | 单相 100–230V |
| EV‑PA500 | 500 / 430 | 0.5 / 2.0 | 0.27(极限) | 21 | 单相 100–230V |
**便携(*大优势):EV‑PA250 仅16kg、尺寸 **≈25×35×20cm**,带把手,可手提 / 放桌面 / 机架,空间占用极小。
风冷免水・全球通用电压:无需冷却水,单相 100–240V 宽电压,插电即用,适配全球实验室 / 移动场景。
超低能耗:极限真空功耗低至0.24kW,比油旋片泵省电 **≈60%;噪音<55dB (A)**,安静无扰。
无油洁净・免维护:非接触转子、无油、无密封件消耗,终身无需保养,符合 SEMI‑S2/CE/NRTL,无油污染风险。
高水汽耐受:内置气镇,可处理少量水汽,适合冻干、清洗、溶剂挥发等场景。
智能控制:带LCD 面板,支持本地操作、远程监控 / 启停、故障报警,适配自动化系统。
五、典型应用
分析仪器:SEM、质谱(LCMS/ICPMS)、X 射线、表面分析、RGA
科研 / 实验室:小型真空系统、真空干燥、冻干、检漏仪配套
半导体:小型 Load Lock 预抽、检测设备、光刻 / 量测
工业:锂电实验、包装、等离子清洗、轻负载清洁制程
| 系列 | EV‑PA(便携风冷罗茨) | EV‑A(入门风冷罗茨) | EV‑SA(**风冷罗茨) |
|---|---|---|---|
| 定位 | 超便携 / 桌面级 / 超轻量 | 超轻量 / 低成本 / 基础洁净 | 紧凑 / 免维护 / 中轻负载 |
| 抽速 | 230–500 L/min | 250–1,000 L/min | 1,670–5,000 L/min |
| 极限真空 | 0.5 Pa | 1.0 Pa | 0.5 Pa |
| 重量 | 16–21kg | 23–75kg | 65–150kg |
| 能耗 | 0.24kW 起 | 0.35kW 起 | 0.45kW 起 |
| 价格 | 1.8 万起 | 2.2 万起 | 3.2 万起 |
| 适合 | 预算紧 / 便携 / 桌面级 | 实验室 / 锂电 / 小型腔室 | 中轻负载 / Load Lock |
预算紧 / 便携移动 / 桌面级:优先选EV‑PA250(16kg,超省电)。
实验室 / 检漏 / 小腔室:选EV‑PA500(500L/min,抽速更大)。
更大抽速 / 高负载:升级EV‑A10/EV‑SA20。
强腐蚀 / 氢气制程:升级ESA/EV‑M 系列。