NFK 南国工业 晶圆清洗设备真空热处理小型腔体内置管路真空波纹管

核心技术参数

1. 连接形式：两端直管焊接端（可对接真空管路、转接法兰）

2. 波纹管材质：SUS316L 洁净级

3. 波纹结构：CLT 超薄超柔性波纹管

4. 口径规格：对应 KF10～KF40 通径区间微型尺寸

5. 长度范围：100mm～2000mm 支持定制

6. 氦泄漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

7. 表面处理：EP 电解抛光，洁净等级满足半导体工艺要求

8. 使用温度：-196℃～180℃

9. 允许位移：轴向伸缩、径向偏移、小角度偏转补偿

半导体典型运用场景

1. 晶圆清洗设备、真空热处理小型腔体内置管路，空间受限无法布置标准 KF 法兰波纹管场景。

2. CMP 化学机械抛光机真空吸附支路、废气微型真空管路。

3. 半导体工艺腔体内部升降机构、微调组件配套真空柔性管路，跟随机构小幅运动。

4. 小型离子源、等离子发生器、微型真空阀内部连接管路。

5. 高纯惰性气体、工艺特种气体真空输送支管，防止振动造成管路应力开裂。