现货到货｜EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 五级罗茨干式真空泵原装入库
更新时间：2026-08-31
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近日，日本 EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 空冷五级罗茨干式真空泵 全新批次完成入库检验，目前华南一级代理玉崎半导体现货充足，可快速交付、支持项目紧急配套使用。
EV‑A10‑2S 为 EV‑A10 系列单相 200‑240V 标准机型，五级非接触罗茨结构，无油干式、强制风冷，无需冷却水，仅接入电源即可投入运行，非常适合需要频繁破真空、反复大气抽气的工艺场景，规避水冷管路漏水风险，安装部署简单灵活。
核心规格参数
表格
| 项目 | EV‑A10‑2S 参数 |
|---|---|
| 泵类型 | 五级罗茨干式无油真空泵 |
| 最大抽速 | 1000 L/min（60m³/h） |
| 大气压抽速 | 800 L/min |
| 极限真空（气镇关闭） | 1.0 Pa |
| 水蒸气处理能力 | 500 g/h（气镇开启） |
| 进气接口 | NW40(KF40) |
| 排气接口 | NW25(KF25) |
| 供电 | 单相 AC200‑240V 50/60Hz |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 噪音 | ≤58dB(A) |
| 整机重量 | 75kg，标配调平脚轮 |
产品核心优势
洁净无油：全程无油润滑，无返油污染，保障腔体工艺洁净度，适配无尘车间使用。
风冷免水冷：省去冷却水系统，现场布线简单，适合实验室、设备集成、工厂机房改造项目荏原製作所。
水汽耐受强：标配气镇阀，可处理大量水蒸气，适配冻干、蒸馏、溶剂脱除工况EBARA。
低噪低维护：非接触转子，无易损刮片，无需定期换油，仅维护进气过滤器；自带过热、过载多重保护，可支持远程信号对接。
适配频繁破真空：大气压区间抽气性能优异，Load‑lock 腔体循环抽放真空表现突出。
典型应用场景
泛半导体：Load‑lock 预抽腔、小型 PVD 镀膜、等离子清洗、检测设备粗抽
锂电新能源：真空脱气、极片干燥、封装预抽
科研实验室：SEM 扫描电镜、质谱、真空腔体、手套箱、冻干设备
通用工业：真空干燥、蒸馏脱泡、小型镀膜设备粗抽泵
备注：该机型为粗抽 / 预抽干泵，如需高真空，需搭配分子泵机组使用；可选氮气吹扫套件、进气过滤器、排气捕集器配件。
供货信息
型号：EV‑A10‑2S（单相 200‑240V），同系列三相版本 EV‑A10‑3S 可订货。状态：原装现货库存，可提供设备资料、技术选型支持，支持出货检验。
