更新时间:2026-08-31
浏览次数:6
日本 EBARA 荏原 EV‑PA500 紧凑型多级罗茨干式真空泵全新现货入库,单相宽电压机型,整机轻巧便携、强制风冷无需冷却水,实验室与中小型设备集成很好的选择,现货可快速交付,支持项目紧急配套。
表格
| 项目 | EV‑PA500 参数 |
|---|---|
| 泵类型 | 多级罗茨无油干式真空泵,无齿轮结构上海荏原精... |
| 最大抽速(气镇关闭) | 500 L/min |
| 气镇开启抽速 | 430 L/min |
| 极限真空(气镇关闭) | 0.5 Pa |
| 极限真空(气镇开启) | 2.0 Pa |
| 进气接口 | NW25(KF25) |
| 排气接口 | NW25(KF25) |
| 供电 | 单相 AC100‑240V 50/60Hz,国内 220V 直接使用 |
| 功率 | 极限真空 0.27kW,峰值 0.66kVA |
| 冷却方式 | 强制风冷,无需冷却水 |
| 噪音 | 58dB(A) |
| 整机重量 | 21kg,自带便携提手 |
| 外形尺寸 (W×L×H) | 189 × 482 × 272 mm |
洁净无油真空:非接触罗茨转子,全程无油润滑,无油雾返流污染腔体,满足无尘、高洁净工艺要求。
风冷免水冷、即插即用,只接电源即可运行,无冷却水管路,无漏水隐患,台面摆放、设备集成都很方便荏原製作所。
免维护长寿命:无齿轮、无需更换密封件,不用定期换油,仅需维护前端过滤器,支持 24 小时连续运行上海荏原精...。
宽电压自适应,100‑240V 全球通用,50/60Hz 性能不受频率影响,出口设备也适配EBARA CORP...。
标配气镇阀,可处理水蒸气,适配蒸馏、冻干、溶剂脱除工况;支持远程信号通讯,可对接设备 PLC 实现启停与报警输出。
半导体:小型 Load‑lock 预抽、晶圆检测设备、等离子清洗、小型镀膜设备前级粗抽
分析仪器:SEM 扫描电镜、质谱仪、检漏设备、残余气体分析仪 RGA、手套箱前级泵
科研实验室:真空干燥、减压蒸馏、树脂脱泡、材料试样处理
新能源:锂电小型真空烘箱、试样脱气、光伏组件封装预抽
通用工业:小型镀膜、冻干设备、精密真空腔体粗抽
备注:属于前级粗抽干泵,如需高真空,需搭配分子泵机组;可选进气过滤器、排气捕集器配件。
型号:EV‑PA500,单相宽压版本,原装现货库存;可提供原厂资料、技术选型支持,出货可做检验。