更新时间:2026-08-31
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日本 EBARA 荏原 EV‑PA250 紧凑型多级罗茨无油干泵原装现货入库,整机小巧轻量化,强制风冷无需冷却水,单相宽电压,仪器配套、实验室桌面部署优选,现货可快速交付,适配中小腔体预抽粗抽工况。
表格
| 项目 | EV‑PA250 参数 |
|---|---|
| 泵类型 | 多级罗茨无油干式真空泵,无齿轮结构 |
| 最大抽速(气镇关闭) | 230 L/min |
| 气镇开启抽速 | 200 L/min |
| 极限真空(气镇关闭) | 0.5 Pa |
| 极限真空(气镇开启) | 2.0 Pa |
| 进气接口 | NW25(KF25) |
| 排气接口 | NW25(KF25) |
| 供电 | 单相 AC100‑240V 50/60Hz,国内 220V 直用 |
| 功率容量 | 0.45kVA,极限真空 240W |
| 冷却方式 | 强制风冷,无需冷却水 |
| 噪音 | 58dB(A) |
| 整机重量 | 16kg,标配便携提手上海荏原精... |
| 外形尺寸 (W×L×H) | 189 × 482 × 253 mm上海荏原精... |
洁净无油真空:非接触罗茨转子,全程无油润滑,无油雾返流污染腔体,满足无尘洁净工艺,可替代涡旋泵、油旋片泵EBARA。
风冷免水冷,即插即用,仅接市电即可运行,无冷却水管路,无漏水风险,桌面摆放、设备内嵌集成均可。
轻量化便携,16kg 机身带提手,方便实验室搬迁、现场检漏、移动工作站使用,占用空间小。
低维护长寿命:无齿轮、无需更换密封件,不用定期换油;仅维护进气过滤器,支持 24h 连续运行,MTBF 寿命优异。
全球宽电压兼容,50/60Hz 性能不受频率影响,出口设备配套友好;支持 PLC 远程信号,具备过热、过载报警输出,预警、故障停机两级保护。
标配气镇阀,可处理一定水蒸气,适配蒸馏、脱泡、轻度水汽工况。
分析仪器:SEM 扫描电镜、质谱仪、RGA 残余气体分析仪、真空检漏台、表面分析设备前级泵
半导体光电:小型 Load‑lock 预抽、晶圆离线检测、小型等离子清洗、光学元件清洗、微型镀膜粗抽
科研实验室:小型真空烘箱、树脂脱泡、减压蒸馏、试样真空处理、手套箱前级
新能源 / 通用工业:锂电实验室腔体、小型真空封装、医疗器械脱泡、便携式检漏工作站
备注:属于前级粗抽干泵,如需高真空需搭配分子泵机组;可选进气过滤器、排气捕集器配件。
型号:EV‑PA250,单相宽压版本,全新现货库存;可提供原厂图纸、规格书,提供选型及出货检验支持。