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新品现货|EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 多级罗茨干式真空泵 深圳仓原装现货直发

更新时间:2026-09-08

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近期我司新推出升级产品且深圳仓原装现货直发 新品现货|EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 多级罗茨干式真空泵 

日本 EBARA 荏原 EV‑A10‑2S,单相 200‑240V 风冷无油干式真空泵,深圳仓库原装现货,无需漫长海外订货周期,当天可安排出货,适配半导体、实验室、锂电、中小腔体洁净真空工艺。

EV‑A10‑2S 为 EV‑A10 系列单相供电版本(2S = 单相 Single‑phase),五级非接触罗茨转子结构,wan无油,腔体与润滑腔隔离,输出洁净真空,不存在油雾污染工件风险;整机风冷散热,无需外接冷却水,降低现场配套成本,适合无尘车间、实验室、设备机台内置安装使用,大气压区间抽气性能优异,适合频繁破真空、反复抽大气工况荏原製作所。

产品核心亮点

✅ 无油干式洁净真空非接触多级罗茨转子设计,泵腔无润滑油,杜绝油蒸汽返流污染腔体、样品与器件,满足半导体、精密工艺洁净要求,符合 SEMI‑S2 安全标准荏原製作所。

✅ 一体式风冷,安装简单不需要冷却水,仅接入单相 AC200‑240V 电源即可运行,无漏水隐患;自带脚轮与调平底座,移位、摆放灵活,机房、洁净室均可部署。

✅ 优秀水蒸气处理能力标配可开关气镇阀,最大水蒸气处理量500g/h,可处理含水、可凝性气体,减少泵内部凝液堆积,延长泵体寿命。

✅ 单相供电,适配国内设备市电场景EV‑A10‑2S 为单相 200‑240V 版本,区别三相款 EV‑A10‑3S,现场供电改造简单;内置变频控制,启停平稳,运行噪音低<58dB (A)EBARA Tech...。

✅ 通讯接口,支持上位机联动配置 D‑sub15Pin 信号接口,可实现远程启停、状态监控、报警输出,便于集成到自动化设备系统中。

详细技术参数

表格

项目参数
型号EV‑A10‑2S
泵类型多级罗茨风冷干式真空泵(无油)
最大抽速1000 L/min
大气压抽速800 L/min
极限真空(气镇关闭)1.0 Pa
极限真空(气镇开启)2.0 Pa
最大水蒸气处理量500 g/h
电源单相 AC200‑240V 50/60Hz,电压波动 ±10%
极限真空运行功率1.1 kW;电源容量 3.0 kVA
进气 / 排气接口NW40(KF40)
外形尺寸W317×D544×H367 mm
整机重量75 kg
工作环境温度5‑40℃
噪音<58dB(A)

典型应用场景

▪半导体设备配套:镀膜、刻蚀、脱气、中小腔体工艺真空▪科研实验室:真空腔体、干燥、热处理设备配套▪锂电行业:注液、干燥、除气工艺▪化工制药:可凝性气体抽取、蒸馏、真空干燥▪通用工业:真空脱泡、注塑、检漏系统、各类需要洁净无油真空的机台

供货信息

📦现货仓库:深圳仓📌配置:EV‑A10‑2S 主机(单相风冷款)💡可选配件:真空管件、过滤器、KF 密封件等可配套供应🚚原装现货速发,支持项目批量供货,可提供原厂规格书、操作手册,支持技术对接。


手机:13530227878

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