更新时间:2026-09-08
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日本 EBARA 荏原 EV‑PA500 小型便携多级罗茨干泵,单相宽电压风冷机型,深圳仓库原装现货,即订即发,省去海外订货长交期,是实验室、分析仪器、小型半导体腔体优选前级干泵。
EV‑PA500 属于 EV‑PA 系列大流量紧凑型干式真空泵,多级非接触罗茨结构,wan全无油设计,无油雾返流污染风险;整机风冷散热,无需冷却水,国内 220V 单相市电直接使用,机身轻巧带手提把手,台式摆放、设备内嵌、现场移动都适用,同时满足 SEMI‑S2、CE 安全标准EBARA CORP...。
✅ 全无油洁净真空非接触罗茨转子,泵腔无润滑油,che底避免返油污染样品与腔体,适合对碳氢污染敏感的精密工艺;50/60Hz 频率下抽速性能恒定,不受电网频率影响EBARA CORP...。
✅ 风冷免水冷,单相宽电压即插即用无需冷却水系统,单相 AC100‑230V 宽电压输入,国内 220V 直接上机,接线完成即可运行,大幅降低现场配套成本。
✅ 小型轻量化,可移动作业整机重量仅 21kg,自带便携提手,体积小巧,台面、设备机架均可安装,适合仪器配套、多工位切换使用场景。
✅ 低维护长寿命非接触密封结构,无油封易损件,无需定期更换密封件,减少保养工作量;标配气镇阀,可处理水蒸气,适合脱泡、干燥工况。
✅ 低噪运行 + 通讯接口运行噪音约 58dB (A),适配实验室安静环境;配备 D‑sub 信号接口,支持远程启停、报警输出,方便 OEM 设备集成上位机控制。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | EV‑PA500 |
| 泵类型 | 多级罗茨风冷无油干式真空泵 |
| 抽速 | 500 L/min(气镇开启 430 L/min) |
| 极限真空 | 0.5 Pa(气镇关闭);2.0 Pa(气镇开启) |
| 电源 | 单相 AC100‑230V 50/60Hz |
| 电源容量 | 0.66 kVA;极限真空功率 0.27 kW |
| 进气 / 排气接口 | NW25(KF25)快装法兰 |
| 外形尺寸 | W189×D482×H272 mm |
| 整机重量 | 21 kg |
| 噪音 | 58dB(A) |
| 认证 | SEMI‑S2、CE、NRTL |
▪半导体:Load‑Lock 小型腔体、等离子清洗、微型镀膜、封装设备前级泵▪分析仪器:扫描电镜 SEM、质谱仪、氦检漏仪、表面分析设备配套▪科研实验室:真空干燥、树脂脱泡、溶剂减压蒸馏、样品前处理▪新能源锂电:小样真空干燥、除气测试▪通用工业:小型腔体负压、设备 OEM 集成配套
📦现货仓库:深圳仓📌标准配置:EV‑PA500 真空泵主机💡可选配套:KF 管件、过滤器、真空计等配件可同步供应🚚原装现货快速出货,支持小批量及项目批量采购,可提供原厂规格书、操作手册,支持技术对接。