日本 FUJIKIN富士金高纯波纹管阀新品正式推出

日本 FUJIKIN 富士金高纯波纹管阀新品正式推出！
日本 FUJIKIN 富士金全新高纯波纹管阀现已上市，专为半导体超高纯特种气体管路开发。阀体采用 SUS316L 基材，接气面 EP 电解抛光，可选 UP 超精抛光处理，全流程 Class1 无尘车间装配，禁油脱脂，微粒控制优异。内置 Inconel 合金金属波纹管结构，无填料密封，che底杜绝介质外漏，适配自燃、腐蚀、有毒电子特气。阀座标配 PCTFE 密封，开闭寿命长，流道优化，吹扫置换性能好，有效降低管路残气，保障晶圆制程稳定。提供手动、气动两种驱动形式，90° 旋转开关，常开 / 常闭版本可选；接口支持 VCR、UJR、卡套、焊接等多种连接，规格齐全。出厂逐支氦检，漏率达标。广泛用于特气柜 VMB/VMP、刻蚀、沉积、离子注入、OLED/PVD 设备高纯气路，现货配套，可提供原厂资料与技术选型支持。