新品发布｜日本 FUJIKIN 富士金高纯波纹管阀，赋能半导体超高纯流体控制

今日新品正式推出｜日本 FUJIKIN 富士金高纯波纹管阀，赋能半导体超高纯流体控制!

       在先进半导体制造中，高纯气体管路阀门的泄漏、颗粒析出、残气残留，都会直接影响良率。日本 FUJIKIN 富士金全新一代高纯波纹管阀正式推出，依托富士金数十年电子流体控制技术积累，面向晶圆厂、面板、光伏等gao端制程提供可靠切断方案。

产品核心采用金属波纹管全隔离密封结构，摒弃传统填料密封，从根源避免外漏风险，适合硅烷、氯气、六氟化钨等易燃易爆、腐蚀性特种工艺气体。阀体 SUS316L 不锈钢，波纹管为 Inconel 合金，耐疲劳、抗腐蚀，可承受数万次循环启闭。接液表面标准 EP 抛光，可选 UP 超抛光，内壁光洁度高，放气低、不易附着微粒，满足 UHP 超高纯管路要求。

阀体流道经过流体仿真优化，死角少，管路吹扫置换速度快，减少气体残留。阀座采用 PCTFE 材质，密封性能稳定；分手动旋钮式与气动驱动款，气动款通过阀体上盖颜色快速区分常开、常闭状态，便于现场维护。接口覆盖 VCR、UJR 金属密封接头、卡套、焊接等，适配半导体特气柜、阀组箱、机台内部狭小安装空间。

所有阀门在富士金一级洁净室完成组装清洗，全程禁油处理，每台出厂执行氦质谱检漏，出具检测报告。适用场景：半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入设备、VMB/VMP 特气分配系统，也可用于 LCD/OLED 显示、光伏 PECVD、实验室超高纯流体系统。新品已开放选型与供货，可对接工况评估、图纸确认，配套原厂材质证明、检漏报告，助力客户稳定产线流体控制。