新品发布：DONGBANG 东方机械 DBHP100 干式单螺距螺杆真空泵

产品简介

DONGBANG 东方机械（DONGBANG PLANTECH）韩国干式真空装备专业厂商，DBHP 系列为单螺距干式螺杆真空泵产品线，本次介绍DBHP100，额定抽速 100m³/h，属于小型干式前级真空泵，定位研发线、实验室、小型腔体真空配套，可作为分子泵、低温泵等高真空系统的前级泵，和 DBVP150/450 变螺距机型形成高低搭配。整机拥有 CE、TUV 安全认证，广泛用于半导体、精密陶瓷、光器件镀膜、新材料实验产线，是小型洁净真空场景进口替代优选机型。

DBHP100 采用单螺距干式无油螺杆结构，泵腔内部无润滑油、无工作水；阴阳螺杆依靠精密同步齿轮反向旋转，转子之间、转子与泵壳保持微米级非接触间隙，无金属摩擦，从根源消除油蒸汽返流污染腔体、晶圆、陶瓷插芯、光学元器件的风险。

区分：DBVP=变螺距（渐进压缩，适合连续量产工艺）；DBHP=单螺距（结构紧凑、经济性好，适合研发 / 小腔体、分子泵前级）。

产品原理与工况特点

工作原理

DBHP100 为等单螺距螺杆结构，转子螺距全程一致；阴阳螺杆同步反向旋转，齿间容积周期性变化完成吸气、压缩、排气。气体从吸气口进入齿间密闭容积，随转子旋转输送至排气端排出；干式无油设计，无需油膜密封。可选转子水冷结构，带走压缩热，抑制转子热膨胀；标配可拆卸前置空气过滤器，阻挡大颗粒粉尘进入泵腔。适合间歇工艺、小腔体、高真空机组前级粗抽。

工况核心特点

1. 干式无油，洁净真空泵腔无油无水，不存在油雾返流污染腔体，满足半导体实验室、陶瓷试样烧结、光器件镀膜等洁净工艺，保护精密元器件良率。无废水排放，属于绿色真空设备。

2. 小型紧凑，经济性突出整机体积小、占地少，相比同流量变螺距机型成本更优，适合研发实验室、中试小腔体、设备单机配套；IEC 标准法兰直连电机，现场安装无需对轴校中，部署便捷。

3. 全压力区间稳定运行可从大气压连续抽限真空，全压力区间功耗波动小；可长期稳定作为分子泵、低温泵前级粗抽泵，为高真空腔体提供预抽真空。极限真空可达 5×10⁻² Torr。

4. 防腐涂层可选，适配轻度腐蚀介质转子、泵体内壁可喷涂 PTFE 特氟龙防腐涂层，耐受弱酸性气体、溶剂蒸汽；前置可拆卸过滤器，拦截大颗粒粉尘，保护泵内部转子，方便定期拆装维护。

5. 低噪音、低振动，维护简单非接触转子结构，机械磨损极低，维保周期长；运行噪音低，适合实验室、洁净车间室内安装。

典型适用工况半导体研发实验室 PECVD、溅射、刻蚀小腔体；三环集团陶瓷试样真空烧结；光通信元器件样品镀膜；高真空分子泵机组前级粗抽；锂电材料小试脱泡；化工实验室负压反应、干燥；高校 / 科研院所真空实验平台。

与 DBVP150 对比：DBHP100 为单螺距经济型小泵，主打研发 / 前级粗抽；DBVP150 变螺距，更偏向量产产线 7×24h 连续工艺，处理可凝蒸汽能力更强。