新品发布：DONGBANG 东方机械 DBVP450 干式变螺距螺杆真空泵

产品简介

DONGBANG 东方机械（DONGBANG PLANTECH），韩国专业干式真空装备制造商，DBVP 系列为其主力变螺距干式螺杆真空泵产品线。本次介绍DBVP450，是 DBVP 系列中流量主力机型，额定抽速 450m³/h，定位中型产线前级真空源，承接 DBVP150 向上扩容需求，适配半导体、精密陶瓷、光器件镀膜、锂电、精细化工等中大型洁净工艺产线。整机通过 CE、TUV 安全认证，对标进口一线干式螺杆泵，广泛用于国产产线设备升级与进口替代项目。

DBVP450 延续 DBVP 系列变螺距双螺杆干式无油架构，泵腔内部无油、无水作为工作介质；阴阳螺杆依靠精密同步齿轮反向旋转，转子之间、转子与泵壳维持微米级非接触间隙，无金属直接摩擦，从根源杜绝油蒸汽返流污染腔体、晶圆、陶瓷基板与光器件。

产品原理与工况特点

工作原理

吸气端螺距大、容积大，快速吸入工艺气体；气体沿转子轴向向排气端输送，螺距逐步收窄，腔体容积连续缩小，实现渐进平缓压缩，区别于等螺距螺杆泵瞬时压缩发热大的短板。核心专li：转子内置水冷，冷却水直接通入螺杆转子本体，在压缩热产生源头带走热量，抑制转子热膨胀，规避高温下有机介质碳化、转子抱死风险；支持在线蒸汽冲洗，可处理含可凝蒸汽、微量粉尘、轻度腐蚀性工艺气体。机型取消前置空气过滤器，切断工艺介质逆流路径，防爆工况安全性更强。

工况核心特点

1. 洁净无油，保障制程良率泵腔全程干式运行，无润滑油、无工作水，无油雾返流风险，满足半导体洁净车间、陶瓷烧结、光模块镀膜等高洁净工艺要求，保护晶圆、陶瓷插芯、光器件等精密元器件不受污染。

2. 转子内置水冷，温升可控，支持 7×24h 连续稼动冷却水直入转子本体，从源头控温，转子热膨胀量低，长时间不间断运行稳定；排气温度低，减少工艺介质结焦沉积，适合半导体 CVD、PVD、刻蚀、陶瓷真空烧结等连续生产工况。

3. PTFE 特氟龙防腐涂层可选螺杆转子、泵腔过流内壁可喷涂特氟龙防腐涂层，耐受酸性气体、溶剂蒸汽、可凝介质，拓展半导体腐蚀尾气、锂电脱气、化工溶剂回收等复杂工况。

4. 全压力区间稳定抽气，节能优势突出从大气压到极限真空可连续运行，全压力区间功耗波动小，不会随真空提升出现功耗飙升；变螺距内压缩设计，相比等螺距机型显著降低能耗。极限真空可达 1×10⁻² Torr。

5. IEC 法兰直连、维护简便IEC 标准法兰直连电机，现场安装无需对轴校中；非接触转子结构，磨损极低，维保周期长，减少产线停机损失；可在线蒸汽冲洗，便于清理泵内沉积物。

典型适用工况半导体 CVD、PVD、刻蚀工艺前级真空；三环集团陶瓷基板 / 陶瓷插芯真空烧结；光器件、光学元件真空镀膜；锂电材料干燥、浆料脱泡；精细化工反应釜负压、蒸馏干燥；中型真空系统、多腔体集群前级泵。