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新品现货!!荏原 EBARA EV-A10-2U风冷干式真空泵

更新时间:2026-09-24

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新品现货上新|荏原 EV-A10-2U 单相风冷干泵,自动化产线洁净真空动力荏原 EV-A10-2U 为 EV-A 系列单相供电版本五级罗茨干式真空泵,大气压区间抽气性能突出,自带智能电控与通讯接口,适合中小型自动化真空产线改造与实验室设备配套。

产品核心特点

  1. 单相 AC200~240V 供电,强制风冷,无需冷却水,规避水管漏水风险,厂房基建投入低,即插即用。

  2. 五级非接触罗茨转子,无油干式运行,无返油污染,满足 SEMI 洁净相关要求;最大抽速 1000L/min,无气镇极限真空可达 1.0Pa。

  3. 内置可调气镇阀,最大水汽处理量 500g/h,可处理工艺冷凝水汽,防止泵腔内部凝液堆积,延长泵体寿命。

  4. 集成智能控制面板,配备通讯接口,支持 PLC 远程监控、故障报警、参数联动,适配自动化真空系统集成;具备过热、过载多重保护。

  5. 自带脚轮与调平底座,移位方便,运行低噪低振,易损件少,全生命周期使用成本优异。

适用工况半导体封装、溅射 Load-lock 腔体、锂电材料真空干燥 / 脱气、光学镀膜、等离子清洗、真空烘箱、质谱与分析仪器前级粗抽;适合高频循环破空、中小型自动化洁净真空系统,可作为分子泵前级泵搭建高真空机组。

适用介质:洁净空气、氮气等非腐蚀惰性气体。

 原装全新现货,技术支持到位,可提供真空系统配套选型、现场方案对接,欢迎咨询。


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